特許
J-GLOBAL ID：201303014332506578
多周波数RFパルス出力のための、周波数改善インピーダンス依存電力制御
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
特許業務法人明成国際特許事務所
, 井上 佳知
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-031820
公開番号（公開出願番号）：特開2013-171840
出願日： 2013年02月21日
公開日（公表日）： 2013年09月02日
要約：
【課題】独立パルスRF信号のパルス出力によって引き起こされるプラズマインピーダンスの変化にRF電源のRF周波数が迅速に反応できることを保証するための、方法の提供。【解決手段】第1のRF信号を高電力状態と低電力状態との間で供給するために第1のRF電源を第1のパルス周波数でパルス出力させることを含む。更に、第2のRF電源によって出力される第2のRF信号のRF周波数を、測定可能チャンバパラメータの値に応答して第1の既定のRF周波数と第2のRF周波数との間で切り替えることを含む。第1のRF周波数及び第2のRF周波数、並びに切り替えのための閾値は、学習段階中、第1のRF信号が第1のRF周波数よりも低い第2のRF周波数で高電力状態と低電力状態との間でパルス出力されている間に及び第2のRF電源が異なるモードで動作している間に、前もって学習される。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
少なくとも1つのプラズマ処理チャンバを有するプラズマ処理システムにおいて基板を処理するための方法であって、前記プラズマ処理チャンバは、前記処理中に前記プラズマ処理チャンバ内においてプラズマを維持するために複数のRF電源を用い、前記方法は、
高電力状態と低電力状態との間で第1のRF信号を供給するために、前記複数のRF電源の第1のRF電源を第1のパルス周波数でパルス出力させること、
前記複数のRF電源の第2のRF電源を固定周波数モードで動作させること、これにより前記第2のRF電源は前記第2のRF電源によって出力される第2のRF信号の周波数を自己同調させることを許可されず、前記第2のRF信号は少なくとも2つの交代する固定RF周波数値、すなわち第1のRF周波数値及び第2のRF周波数値で動作し、前記第1のRF周波数値及び前記第2のRF周波数値は、学習段階中、前記第1のRF信号が前記第1のパルス周波数よりも低い第2のパルス周波数で前記高電力状態と前記低電力状態との間でパルス出力されることに応答して、前記第2のRF電源が前記第2のRF信号のRF周波数を自己同調させるために周波数自己同調モードで動作しているときに、前もって学習されること、
を備える方法。
IPC (5件)：
H05H 1/46
, H01L 21/306
, H01L 21/205
, H01L 21/31
, C23C 16/505
H05H1/46 M
, H05H1/46 R
, H01L21/302 101B
, H01L21/205
, H01L21/31 C
, C23C16/505
4K030CA04
, 4K030CA06
, 4K030CA12
, 4K030FA03
, 4K030KA30
, 4K030LA15
, 4K030LA18
, 5F004BA09
, 5F004BB13
, 5F045AA08
, 5F045EH12
, 5F045EH19
