特許
J-GLOBAL ID：201303020843259528

原子間力顕微鏡装置

発明者：
藤本 博志

藤本 博志 について

, 
白石 貴行

白石 貴行 について


出願人/特許権者：
国立大学法人横浜国立大学

国立大学法人横浜国立大学 について


代理人 (2件)： 谷 義一 ,  阿部 和夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-052663
公開番号（公開出願番号）：特開2009-210361
特許番号：特許第5071901号
出願日： 2008年03月03日
公開日（公表日）： 2009年09月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 試料表面の表面形状をタッピングモードで画像化する原子間力顕微鏡装置であって、 前記試料表面と原子間力を介して相互作用し、前記原子間力によって振動振幅が振幅変調を受けるカンチレバと、 前記カンチレバを前記カンチレバの共振周波数で振動させるための振動用ピエゾ素子と、前記カンチレバに向けて第1のレーザ光を入射するレーザ光提供手段と、 前記カンチレバが前記第1のレーザ光を反射することにより発せられた第2のレーザ光を検出する光検出手段と、 前記光検出手段により検出された前記カンチレバの先端の変位を振幅変復調するための振幅変復調器と、 前記試料を載せたピエゾ素子と、 前記試料表面と前記カンチレバの先端との間の距離を一定に保ち、前記ピエゾ素子に入力電圧を入力し、行きの走査の間に表面形状を計測し、前記ピエゾ素子の出力電圧および前記ピエゾ素子の入力電圧から、前記試料表面の表面形状を推定するコントローラと、 推定された前記表面形状を記録するデータ記憶手段とを備え、 前記コントローラは、前記行きの走査と同一ラインの帰りの走査において、前記行きの走査で記憶された前記表面形状をフィードフォワード信号として用いて制御を行うことを特徴とする原子間力顕微鏡装置。
IPC (3件)：
G01Q 10/06 ( 201 0.01) ,  G01Q 30/06 ( 201 0.01) ,  G01Q 60/34 ( 201 0.01)
FI (3件)：
G01Q 10/06 ,  G01Q 30/06 ,  G01Q 60/34
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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引用文献：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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