直線開口蒸着装置および被覆方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：杉村憲司 , 澤田達也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-581267
特許番号：特許第4743964号
出願日： 1999年11月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基材被覆用直線開口蒸着装置で、該装置が、 (a)一投入量の原料物質を収容する原料ボックス、 (b)該原料ボックス内にあり、原料物質を加熱して原料物質の蒸気を発生できるようにした加熱素子、 (c)該原料ボックスと連通した少なくとも一つの入口と蒸気を原料ボックスから基材に向けるための長方形スロット出口とを有する煙突、 (d)該原料ボックス内に配置され、原料ボックスからの蒸気の流れを基材に限定するように形成されたバッフル、 (e)該原料ボックスの周りに配置され、基材の加熱を防ぐように形成された格納冷却容器、および (f)複数の貫通穴が開いた浮動バッフルで、前記原料物質の蒸発につれて前記原料物質の上面上での位置を保つようにした浮動バッフル、を含む直線開口蒸着装置。

IPC (2件)：