特許
J-GLOBAL ID：201303049680984112
振動素子、振動子、電子デバイス、発振器、及び電子機器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-056944
公開番号（公開出願番号）：特開2013-192044
出願日： 2012年03月14日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
要約：
【課題】メサ型振動素子に生じる屈曲振動による不要振動を抑圧し、CIの小さい振動素子を得る。【解決手段】振動基板10と、励振電極20aと、を備えた振動素子であって、振動基板10は、振動部14と、外縁部12と、を有し、振動部14の全外周縁には外縁部12に向かって厚さが漸減する少なくとも二段の段差縁部を備えている。段差の段数をi、i段目の段差の長さをMxi、最外側の段差の長さをMxとし、励振電極の長さをEx、屈曲振動の波長をλで表わしたときに、 -0.2<((Mxi-1-Mxi)/2-nλ/2)/(λ/2)<0.2 (1) -0.2<((Ex-Mx)-kλ/2)/(λ/2)<0.2 (2)の両式を満たすように各パラメーターを設定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
厚みすべり振動で励振し、一方の主面に設けられている第1凸部、前記一方の主面に対して裏面側の他方の主面に設けられている第2凸部を含む振動部、
前記第1凸部及び前記第2凸部の前記厚みすべり振動の振動方向に交差する方向の端部に設けられている少なくとも二段以上の段差縁部、
及び前記振動部の外縁に沿って配置され前記振動部の厚みよりも厚みの薄い外縁部、
を含む基板と、
前記第1凸部の表面に設けられている第1励振電極と、
前記第2凸部の表面に設けられている第2励振電極と
を備え、
前記段差縁部の段数を2以上の正の整数iで表わすとき、
i段目の段差縁部の前記厚みすべり振動の振動方向に沿った長さをMxi、
最外側の段差縁部の前記厚みすべり振動の振動方向に沿った長さをMx、
1段目の段差縁部の前記厚みすべり振動の振動方向に直交する方向に沿った長さをMz、
前記励振電極の前記厚みすべり振動の振動方向に沿った長さをEx、
前記励振電極の前記厚みすべり振動の振動方向に直交する方向に沿った長さをEz、
前記厚みすべり振動の振動方向に振動する屈曲振動の波長をλとしたとき、
-0.2<((Mxi-1-Mxi)/2-nλ/2)/(λ/2)<0.2 (1)
-0.2<((Ex-Mx)-kλ/2)/(λ/2)<0.2 (2)
を満たすことを特徴とする振動素子。但し、nは正の整数、kは整数。
IPC (4件)：
H03H 9/19
, H01L 41/09
, H01L 41/18
, H01L 41/22
H03H9/19 E
, H03H9/19 D
, H01L41/08 C
, H01L41/08 L
, H01L41/18 101A
, H01L41/22 Z
5J108AA04
, 5J108BB02
, 5J108CC05
, 5J108CC12
, 5J108DD02
, 5J108EE03
, 5J108EE07
, 5J108EE18
, 5J108GG03
, 5J108GG15
, 5J108GG16
, 5J108GG20
, 5J108GG21
, 5J108JJ02
, 5J108JJ03
, 5J108JJ04
, 5J108KK01
