特許
J-GLOBAL ID：201303062111375856

光偏向器

発明者：
谷 雅直

谷 雅直 について

, 
安田 喜昭

安田 喜昭 について

, 
赤松 雅洋

赤松 雅洋 について

, 
四十物 孝憲

四十物 孝憲 について


出願人/特許権者：
スタンレー電気株式会社

スタンレー電気株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-084209
公開番号（公開出願番号）：特開2013-137583
出願日： 2013年04月12日
公開日（公表日）： 2013年07月11日
要約：
【課題】圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、小型で簡単な構造で、高い駆動周波数と大きい最大偏向角とを両立可能な光偏向器を提供する。【解決手段】光偏向器A1のミラー部1と、ミラー部1を駆動する圧電アクチュエータ8a〜8d,10a,10bの圧電カンチレバーの支持体4a〜4hは、複数の単結晶シリコン層から構成される半導体基板SOIを形状加工して一体的に形成される。圧電カンチレバーの支持体4a〜4hは、複数の単結晶シリコン層のうち少なくとも1つの単結晶シリコン層からなる第1の支持層31aを形状加工して形成され、ミラー部1は、複数の層のうち第1の支持層31aと厚さが異なる少なくとも1つの層からなる第2の支持層31cを形状加工して形成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
反射面を有するミラー部と、該ミラー部を駆動する少なくとも1つの圧電アクチュエータとを備え、該圧電アクチュエータは、支持体上に形成された圧電体に駆動電圧を印加することで圧電駆動により屈曲変形を行う1つ以上の圧電カンチレバーを含み、該圧電アクチュエータに駆動電圧を印加することで該ミラー部を回転駆動させる光偏向器において、 前記圧電カンチレバーの支持体は、厚みが異なる複数の単結晶シリコン層を積層して構成された半導体基板の複数の単結晶シリコン層のうち少なくとも1つの単結晶シリコン層からなる第1の支持層を形状加工して形成され、 前記ミラー部は、前記複数の単結晶シリコン層のうち少なくとも1つの単結晶シリコン層からなり且つ前記第1の支持層より厚い第2の支持層を形状加工して、前記支持体と一体的に形成されることを特徴とする光偏向器。
IPC (1件)：
G02B 26/10
FI (1件)：
G02B26/10 104Z
Fターム (6件)：
2H045AB13 ,  2H045AB24 ,  2H045AB38 ,  2H045AB73 ,  2H045AB81 ,  2H045BA12
引用特許：
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM