特許
J-GLOBAL ID：201303066031559609
熱張係数の異なる材料間の低応力界面及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
古谷 聡
, 溝部 孝彦
, 西山 清春
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-305635
公開番号（公開出願番号）：特開2001-150399
特許番号：特許第5096651号
出願日： 2000年10月05日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】第一の材料(104a)の熱膨張係数(TCE)が第二の材料(106a)のTCEよりも小さい、2つの材料の間に低応力界面(118)を作るための方法であって、
前記第一の材料からなる第一の層(104a)と、前記第一の材料とは異なる材料からなるとともに該第一の層(104a)と等しいTCEを有する第二の層(104b)とを含み、前記第一の層(104a)が前記第二の層(104b)よりも高い弾性係数を有し、前記第二の層(104b)が前記第一の層(104a)よりも厚く形成され、それらの層の間に挟まれた第三の材料(107)からなる層(107)を有する積層構造(101)を形成し、この積層構造(101)が、温度変化に際して反りを生じない平坦な表面(121)と、横方向の熱膨張係数(TCE)を備え、
温度変化に際して反りを生じない平坦な表面(122)を有するとともに前記積層構造(101)の前記横方向のTCEと同様のTCEを備える第二の材料(106a)と前記積層構造(101)とを接合して、前記低応力界面(118)を形成することからなり、
前記第二の材料(106a)の前記平坦な表面(122)に平行な横方向(115)における前記第二の材料(106a)の熱膨張が、前記積層構造(101)の前記平坦な表面(121)に平行な前記横方向(115)における前記積層構造(101)の熱膨張と等しく、それによって前記第二の材料(106a)が、温度変化に際して反りを生じず、
前記第一の材料が石英ガラスである方法。
IPC (3件)：
B81C 3/00 ( 200 6.01)
, B32B 7/00 ( 200 6.01)
, B81B 3/00 ( 200 6.01)
B81C 3/00
, B32B 7/00
, B81B 3/00
