特許
J-GLOBAL ID：201303068854645821
マイクロ波プラズマ処理装置、及び冷却ジャケットの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人サクラ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-170920
公開番号（公開出願番号）：特開2013-251574
出願日： 2013年08月21日
公開日（公表日）： 2013年12月12日
要約：
【課題】マイクロ波プラズマ処理装置を構成するマイクロ波アンテナの、特に処理容器に隣接した天板の冷却を効果的かつ効率的に行う。【解決手段】マイクロ波プラズマ処理装置を構成するマイクロ波アンテナにおいて、前記遅波板と前記冷却ジャケットの前記冷却部とが隣接するようにして、マイクロ波プラズマ処理装置を構成する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
内部に被処理基板を支持する支持台を有する処理容器と、
前記処理容器に結合された排気系と、
前記処理容器上に、前記支持台上の前記被処理基板に対面するように設けられたマイクロ波透過窓と、
前記処理容器にプラズマ生成用ガスを供給するガス供給部と、
前記処理容器上に設けられたマイクロ波アンテナとを具え、
前記マイクロ波アンテナは、冷媒を流通させるための流通孔が形成されてなる冷却部を含む冷却ジャケット、この冷却ジャケットと対向するようにして設けられた遅波板、及びこの遅波板の、前記冷却ジャケットが設けられた側の主面と相対向する側の主面上に形成されたスロット板とを有し、
前記遅波板と前記冷却ジャケットの前記冷却部とが隣接されてなり、
前記冷却ジャケットのジャケット構成材料の線膨張係数が前記遅波板の板構成材料の線膨張係数との差が10%の範囲内であり、
前記ジャケット構成材料はAl-SiCであり、前記板構成材料はアルミナであることを特徴とする、マイクロ波プラズマ処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/302 101D
, H05H1/46 B
5F004AA01
, 5F004AA16
, 5F004BA11
, 5F004BB14
, 5F004BB28
, 5F004BB29
