プローブカード及びその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：加藤公延 , 大島孝文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-141779
公開番号（公開出願番号）：特開2013-134249
出願日： 2012年06月25日
公開日（公表日）： 2013年07月08日
要約：

【課題】本発明はプローブカード及びその製造方法に関する。【解決手段】本発明の実施例によるプローブカードは、基板と、溝部を有し、上記基板の一面に相互離隔して形成された少なくとも一つの金属層と、上記それぞれの金属層の溝部に挿入された少なくとも一つのプローブピンと、上記金属層の一面及び上記溝部の内部に形成され、上記プローブピンを上記溝部に接合する半田部とを含んでよい。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

基板と、溝部を有し、前記基板の一面に相互離隔して形成された少なくとも一つの金属層と、前記それぞれの金属層の溝部に挿入された少なくとも一つのプローブピンと、前記金属層の一面及び前記溝部の内部に形成され、前記プローブピンを前記溝部に接合する半田部と、を含むプローブカード。

IPC (3件)：

G01R 1/073 , G01R 31/26 , H01L 21/66

FI (4件)：

G01R1/073 E , G01R1/073 D , G01R31/26 J , H01L21/66 B

Fターム (15件)：

2G003AG04 , 2G003AG08 , 2G003AH04 , 2G011AA09 , 2G011AA15 , 2G011AB06 , 2G011AB07 , 2G011AC06 , 2G011AC14 , 2G011AE03 , 2G011AF07 , 4M106AA01 , 4M106BA01 , 4M106DD04 , 4M106DD10

引用特許：

審査官引用 (9件)

プローブカード及びその製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2008-537587 出願人：パイコムコーポレイション
特公昭56-023320
特許第6790056号

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