特許
J-GLOBAL ID：201303080618056564
テンプレート、テンプレートの製造方法及びテンプレートの製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
日向寺 雅彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-128280
公開番号（公開出願番号）：特開2012-256680
出願日： 2011年06月08日
公開日（公表日）： 2012年12月27日
要約：
【課題】パターンの転写精度を向上することができるテンプレート、テンプレートの製造方法及びテンプレートの製造装置を提供する。【解決手段】実施形態に係るテンプレートは、台座基板と、パターン部と、を備える。パターン部は、台座基板に設けられる。パターン部は、マスターパターンの転写によって形成された凹凸パターンを有する。凹凸パターンは、凹凸パターンの形状が転写される基板に形成された下地パターンの歪みに合わせ、マスターパターンに対して歪んだ状態で設けられている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
台座基板と、
前記台座基板に設けられ、マスターパターンから形成された凹凸パターンを有するパターン部と、
を備え、
前記凹凸パターンは、前記凹凸パターンの形状が転写される基板に形成された下地パターンの歪みに合わせ、前記マスターパターンに対して歪んだ状態で設けられたことを特徴とするテンプレート。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 502D
, B29C59/02 B
4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AH73
, 4F209AJ03
, 4F209AJ09
, 4F209AP11
, 4F209AP19
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PN06
, 4F209PQ11
, 5F146AA31
, 5F146AA32
