特許
J-GLOBAL ID：200903015931862688
固化したインプリンティング材料からモールドを分離する方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山川 政樹
, 山川 茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-543272
公開番号（公開出願番号）：特表2009-517882
出願日： 2006年09月22日
公開日（公表日）： 2009年04月30日
要約：
本発明は、モールド(136)を含むテンプレート(214)内に変形を形成することを含む、固化したインプリンティング材料からモールドを分離する方法を提供する。変形(P2)は、固化したインプリンティング材料とモールドの間の接着力よりも大きな戻り力を生み出すのに十分なものである。例えば変形は、ポンプ・システム(546)によって、モールドと、モールドとは反対側のテンプレートの側面との間に生み出される圧力差から生じ得る。このようにして、歪みが、上に固化したインプリンティング材料が配設された基板に接触するのに十分な大きさの、テンプレート内の起伏になることができる。
請求項（抜粋）：
基板上に付着した固化したインプリンティング材料から、テンプレート内に含まれるモールドを分離する方法であって、
前記テンプレート内に、前記固化したインプリンティング材料と前記モールドの間の接着力よりも大きな戻り力を生み出すのに十分な変形を、前記モールドに隣接して形成するステップ
を含む方法。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, B29C 33/44
, G03F 7/20
, B29C 33/42
, B29C 59/02
H01L21/30 502D
, B29C33/44
, G03F7/20 501
, B29C33/42
, B29C59/02 Z
2H097AA20
, 4F202AF01
, 4F202CA09
, 4F202CA19
, 4F202CB29
, 4F202CK42
, 4F202CK53
, 4F202CM31
, 4F209AA44
, 4F209AC05
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AH73
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PN09
, 4F209PQ11
, 4F209PQ14
, 5F046AA28
