特許
J-GLOBAL ID：201303093720479210
サファイア基板及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
渡邉 一平
, 木川 幸治
, 佐藤 博幸
, 小池 成
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-052556
公開番号（公開出願番号）：特開2013-128147
出願日： 2013年03月14日
公開日（公表日）： 2013年06月27日
要約：
【課題】より大きいサイズの高品質基板の提供。【解決手段】a面、r面、m面、及びc面配向からなる群から選択される結晶配向を有し且つ約0.037μm/cm2以下のnTTVを有する概ね平坦な表面を含み、ここでのnTTVは該概ね平坦な表面の表面積で規格化された総厚みばらつきであり、該基板は約9.0cm以上の直径を有する、サファイア基板。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
少なくとも20個のサファイア基板を含むサファイア基板ロットであって、
それぞれのサファイア基板は(i)c面配向、(ii)結晶のm面ミスオリエンテーション角度(θm)、及び(iii)結晶のa面ミスオリエンテーション角度(θa)を有する第1表面を有し、
(a)ミスオリエンテーション角度θmの標準偏差σmが0.0130度以下、及び(b)ミスオリエンテーション角度θaの標準偏差σaが0.0325度以下のうち少なくとも1つが成り立つ、
サファイア基板ロット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/304 631
, C30B29/20
4G077AA02
, 4G077BB01
, 4G077FG11
, 4G077FG16
, 4G077HA02
, 4G077HA06
, 4G077HA12
, 5F057AA12
, 5F057BA12
, 5F057BB12
, 5F057CA11
, 5F057DA11
