特許
J-GLOBAL ID：201003020177779536
サファイア基板及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 永坂 友康
, 小林 良博
, 河野上 正晴
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-544222
公開番号（公開出願番号）：特表2010-515270
出願日： 2007年12月21日
公開日（公表日）： 2010年05月06日
要約：
a面、r面、m面、及びc面配向からなる群から選択される結晶配向を有し且つ約0.037μm/cm2以下のnTTVを有する概ね平坦な表面を含み、ここでのnTTVは該概ね平坦な表面の表面積で規格化された総厚みばらつきであり、該基板は約9.0cm以上の直径を有する、サファイア基板。
請求項（抜粋）：
第1表面がc面配向を有するように研磨材を用いてそれぞれのサファイア基板の表面を研削加工することを含む、複数のサファイア基板を含むサファイア基板ロットを提供する方法であって、
該サファイア基板ロットが少なくとも20個のサファイア基板を含み、それぞれのサファイア基板が(i)c面配向、(ii)結晶のm面ミスオリエンテーション角度(θm)、及び(iii)結晶のa面ミスオリエンテーション角度(θa)を有する第1表面を有し、
(a)ミスオリエンテーション角度θmの標準偏差σmが約0.0130度以下、及び(b)ミスオリエンテーション角度θaの標準偏差σaが約0.0325度以下のうち少なくとも1つが成り立つ、
サファイア基板ロットの提供方法。
IPC (4件)：
H01L 21/304
, B24B 7/04
, B24B 1/00
, B24B 37/04
H01L21/304 631
, H01L21/304 622W
, B24B7/04 A
, B24B1/00 B
, B24B37/04 G
3C043BA03
, 3C043BA07
, 3C043BA11
, 3C043BA13
, 3C043CC04
, 3C043CC13
, 3C049AA04
, 3C049AA09
, 3C049AA12
, 3C049BA05
, 3C049BC02
, 3C049CA01
, 3C049CA04
, 3C049CB01
, 3C049CB10
, 3C058AA07
, 3C058AA12
, 3C058AB04
, 3C058AB08
, 3C058BA05
, 3C058BC02
, 3C058CA01
, 3C058CA04
, 3C058CB01
, 3C058DA06
, 3C058DA12
, 3C058DA17
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (8件)
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