露光装置及び露光方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：濱田百合子 , 小栗昌平 , 本多弘徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-078998
公開番号（公開出願番号）：特開2013-231962
出願日： 2013年04月04日
公開日（公表日）： 2013年11月14日
要約：

【課題】タクトタイムの短縮を図ることができる露光装置及び露光方法を提供する。【解決手段】露光装置PEは、マスクM1,M2を保持するマスクステージ10と、被露光材としての基板W1,W2をそれぞれ載置する複数の基板保持部21と、複数の基板保持部を載置する基板ステージ20と、前記複数の基板保持部21に保持された前記基板W1,W2がマスクステージ11に保持された前記マスクM1,M2と対向するように、前記複数の基板保持部21を同期して回転移動可能な回転テーブル22と、前記マスクを介して前記基板W1,W2に対して、露光光を照射する照明光学系30を備え、第1及び第2の基板保持部21a,21bに載置した基板W1,W2に対して、同期して露光光を照射することができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

マスクを保持するマスクステージと、被露光材としての基板を載置する基板保持部を有する基板ステージと、前記基板保持部に保持された前記基板と前記マスクステージに保持された前記マスクとが対向した状態で、前記マスクを介して前記基板に露光光を照射する照明光学系と、を有する露光処理部と、前記基板保持部に対して前記基板を搬入する搬入装置と、前記基板保持部に対して前記基板を搬出する搬出装置と、を備え、前記露光処理部における露光動作と、前記搬入装置における搬入動作と、前記搬出装置における搬出動作とを、同期して行うように制御する制御部をさらに備えることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F 9/00 , H01L 21/027 , H01L 21/677

FI (3件)：

G03F9/00 A , H01L21/30 509 , H01L21/68 A

Fターム (28件)：

2H097DB07 , 2H097DB11 , 2H097GA45 , 2H097KA12 , 2H097KA13 , 2H097KA20 , 2H097KA22 , 2H097KA29 , 2H097LA11 , 5F131AA03 , 5F131AA32 , 5F131BA13 , 5F131CA32 , 5F131DA02 , 5F131DA33 , 5F131DA35 , 5F131DA42 , 5F131DB02 , 5F131DC23 , 5F131EA02 , 5F131EA24 , 5F131EB01 , 5F131EB67 , 5F146BA02 , 5F146CC01 , 5F146CC02 , 5F146CD01 , 5F146CD02

引用特許：

審査官引用 (13件)

露光装置および露光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-087975 出願人：大日本印刷株式会社
特開昭52-154370
特開平4-367417

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