特許
J-GLOBAL ID：200903058605161913

露光装置および露光方法

発明者：
鈴木 謙作

鈴木 謙作 について

, 
上林 勝哉

上林 勝哉 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-087975
公開番号（公開出願番号）：特開2006-267802
出願日： 2005年03月25日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：
【課題】平面表示装置に用いられるフラットディスプレイパネル用の大型基板のフォトリソ工程の露光処理を行う露光装置で、生産効率の高い露光装置と露光方法を提供する。【解決手段】搬入手段170により、XYステージ前段部120において、カセット140上に大型基板を搭載し、搬送部121により、前記XYステージ前段部120からカセット140ごと大型基板150をXYステージ110上に載置して、露光を行い、カセット140ごと大型基板150をXYステージからXYステージ後段部に取り出し、搬出手段180により、XYステージ後段部130においてカセット140から前記大型基板を搬出する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ディスプレイパネル用の大型基板の露光処理を行う露光装置であって、大型基板を搭載した状態で露光処理、搬送を行うためのカセットと、大型基板をカセットごと載置した状態で露光を行うためのXYステージを有する露光部(露光機本体)と、XYステージへ搭載する前の、カセットに搭載された大型基板を配置するためのXYステージ前段部と、XYステージから取り出した、カセットに搭載された大型基板を配置するためのXYステージ後段部とを配し、XYステージ前段部にて前記大型基板をカセットに搭載するための搬入手段と、XYステージ後段部にて前記大型基板をカセットから取り出すための搬出手段と、XYステージ前段部からXYステージへ、XYステージからXYステージ後段部へと、前記カセットごと大型基板を水平な状態で搬送する搬送部とを備え、前記搬入手段により、XYステージ前段部においてカセット上に前記大型基板を搭載し、前記搬送部により、前記XYステージ前段部からカセットごと大型基板をXYステージ上に載置して、露光を行い、カセットごと大型基板をXYステージからXYステージ後段部に取り出し、搬出手段により、XYステージ後段部においてカセットから前記大型基板を搬出するものであることを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
G03F 7/20 ,  G02B 5/20
FI (2件)：
G03F7/20 501 ,  G02B5/20 101
Fターム (9件)：
2H048BA02 ,  2H048BA11 ,  2H048BA45 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  2H097DB07 ,  2H097DB11 ,  2H097GA45 ,  2H097LA11
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (7件)
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