特許
J-GLOBAL ID：201403025267978245
レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
中山 亨
, 坂元 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-159298
公開番号（公開出願番号）：特開2014-021249
出願日： 2012年07月18日
公開日（公表日）： 2014年02月03日
要約：
【課題】膜厚均一性に優れた組成物層を形成可能なレジスト組成物を提供する。【解決手段】酸の作用によりアルカリ水溶液への溶解性が増大する樹脂(A)、酸発生剤(B)及び溶剤(D)を含むレジスト組成物であって、溶剤(D)が、沸点が160°C以上250°C以下の溶剤を含む溶剤であり、沸点が160°C以上250°C以下の溶剤の含有量が、溶剤の総量に対して、10質量%以上100質量%であり、溶剤(D)の平均沸点が150°C以上250°C以下であり、溶剤(D)の含有量が、レジスト組成物の総量に対して、35〜80質量%であるレジスト組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
酸の作用によりアルカリ水溶液への溶解性が増大する樹脂(A)、酸発生剤(B)及び溶剤(D)を含むレジスト組成物であって、
溶剤(D)が、沸点が160°C以上250°C以下の溶剤を含む溶剤であり、
沸点が160°C以上250°C以下の溶剤の含有量が、溶剤の総量に対して、10質量%以上100質量%であり、
溶剤(D)の平均沸点が150°C以上250°C以下であり、
溶剤(D)の含有量が、レジスト組成物の総量に対して、35〜80質量%であるレジスト組成物。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F7/004 501
, G03F7/039 601
2H125AF53P
, 2H125AH06
, 2H125AH19
, 2H125AJ04X
, 2H125AJ14X
, 2H125AJ48X
, 2H125AJ64X
, 2H125AM66P
, 2H125AM80P
, 2H125AM86P
, 2H125AN34P
, 2H125AN39P
, 2H125AN56P
, 2H125AN58P
, 2H125AN63P
, 2H125BA01P
, 2H125BA26P
, 2H125BA33P
, 2H125CA12
, 2H125CB06
, 2H125CC03
, 2H125CC15
, 2H125CD12P
, 2H125CD40
