特許
J-GLOBAL ID：201403029428142962

高純度石英ガラスウールおよびその製造方法

発明者：
堀越 秀春

堀越 秀春 について


出願人/特許権者：
東ソ-・エスジ-エム株式会社

東ソ-・エスジ-エム株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-278863
公開番号（公開出願番号）：特開2014-122127
出願日： 2012年12月21日
公開日（公表日）： 2014年07月03日
要約：
【課題】少なくともNa、K、Ca、Al、Fe、およびMgからなる不純物の濃度が0.1ppm未満である石英ガラスウールを提供する。【解決手段】Al、Ca、Na、K、Fe、およびMgの含有量が何れも0.1ppm未満である石英ガラスからなる石英ガラスウール。Al、Ca、Na、K、Fe、およびMgの含有量が何れも0.1ppm未満である石英ガラスからなる合成石英ガラス母材の棒の表面を、酸水溶液で、1μm以上の厚みでエッチングする工程、および表面エッチングした合成石英ガラス母材の棒を熔融し、線引きして石英ガラスウールを製造する工程を含む、Al、Ca、Na、K、Fe、およびMgの含有量が何れも0.1ppm未満である石英ガラスからなる石英ガラスウールの製造方法。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
Al、Ca、Na、K、Fe、およびMgの含有量が何れも0.1ppm未満である石英ガラスからなる石英ガラスウール。
IPC (2件)：
C03C 13/00 ,  C03B 37/065
FI (2件)：
C03C13/00 ,  C03B37/065
Fターム (58件)：
4G062AA05 ,  4G062BB02 ,  4G062CC04 ,  4G062DA08 ,  4G062DB01 ,  4G062DC01 ,  4G062DD01 ,  4G062DE01 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA10 ,  4G062EB01 ,  4G062EC01 ,  4G062ED01 ,  4G062EE01 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062FA01 ,  4G062FA10 ,  4G062FB01 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM01 ,  4G062NN34 ,  4G062NN40
引用特許：
審査官引用 (11件)
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