特許
J-GLOBAL ID：201403042558663430
変位装置及び変位装置を製造、使用、制御する方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人北青山インターナショナル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-537437
公開番号（公開出願番号）：特表2014-531189
出願日： 2012年10月22日
公開日（公表日）： 2014年11月20日
要約：
変位装置は、固定子と、可動式ステージとを備える。固定子は、1つ又は複数の層に複数の概して線形で細長いコイルトレースを提供する形状の複数のコイルを備える。コイルの層はZ方向において重なり得る。可動式ステージは複数の磁石アレイを備える。各磁石アレイは、対応する方向において概ね線形に細長い複数の磁化セグメントを備え得る。各磁化セグメントは、細長い方向に概ね直交する磁化方向を有し、磁化方向のうちの少なくとも2つは、互いに異なる。1つ又は複数の増幅器を接続して、コイルトレースに電流を選択的に駆動し、それにより、固定子と可動式ステージとの間の相対移動を行わせ得る。【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
コイルのトレースが概ね線形に向けられる作業領域を提供する形状の複数の細長いコイルを備える固定子であって、前記複数の細長いコイルは、
対応する第1の固定子Z位置において第1の層に分散した第1の複数のコイルトレースであって、前記第1の層で第1の固定子方向において概ね線形に細長い、第1の複数のコイルトレース、及び
対応する第2の固定子Z位置において第2の層に分散した第2の複数のコイルトレースであって、前記第2の層で第2の固定子方向において概ね線形に細長く、前記第2の固定子方向は前記第1の固定子方向と平行しない、第2の複数のコイルトレース
を備え、
前記第1の層及び前記第2の層は、前記作業領域で固定子Z方向において互いに重なり、前記固定子Z方向は、前記第1の固定子方向及び前記第2の固定子方向の両方に概ね直交する、固定子と、
複数の磁石アレイを備える可動式ステージであって、前記複数の磁石アレイは、
第1のステージ方向において概ね線形に細長い複数の第1の磁化セグメントを備える第1の磁石アレイであって、各第1の磁化セグメントは、前記第1のステージ方向に概ね直交する磁化方向を有し、前記第1の磁化セグメントのうちの少なくとも2つは、互いに異なる磁化方向を有する、第1の磁石アレイ、及び
前記第1のステージ方向に平行しない第2のステージ方向において概ね線形に細長い複数の第2の磁化セグメントを備える第2の磁石アレイであって、各第2の磁化セグメントは、前記第2のステージ方向に概ね直交する磁化方向を有し、前記第2の磁化セグメントのうちの少なくとも2つは、互いに異なる磁化方向を有する、第2の磁石アレイ
を備える、可動式ステージと、
接続されて、前記第1の複数のコイルトレース及び前記第2の複数のコイルトレースにおいて電流を駆動し、それにより、前記固定子と前記可動式ステージとの間での相対移動を行わせる1つ又は複数の増幅器と、
を備えることを特徴とする、変位装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H02K41/03 A
, H02P5/00 101B
5H540AA10
, 5H540BA03
, 5H540BB01
, 5H540BB07
, 5H540BB09
, 5H540EE05
, 5H540FA02
, 5H641BB06
, 5H641BB19
, 5H641GG02
, 5H641GG07
, 5H641GG24
, 5H641HH03
, 5H641JA03
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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