特許
J-GLOBAL ID：201403087504278631
周期表第13族金属窒化物結晶およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-031212
公開番号（公開出願番号）：特開2014-208571
出願日： 2014年02月21日
公開日（公表日）： 2014年11月06日
要約：
【課題】結晶性が良好であり、結晶に歪みが発生していない周期表第13族金属窒化物結晶およびその製造方法を提供する。【解決手段】周期表第13族金属窒化物結晶は、結晶中に酸素原子と水素原子とを含み、酸素濃度に対する水素濃度の比が0.5〜4.5である。周期表第13族金属窒化物結晶の製造方法は、主面の少なくとも一部を成長阻害部材302で被覆した種基板110を準備する準備工程と、前記種結晶の主面のうち成長阻害部材で被覆されていないライン状の開口部303から、種結晶の主面に対して垂直な方向に板状の周期表第13族金属窒化物結晶304を液相成長法によって結晶成長させる成長工程とを有する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
結晶中に酸素原子と水素原子とを含み、酸素濃度に対する水素濃度の比が0.5〜4.5である、周期表第13族金属窒化物結晶。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
4G077AA02
, 4G077AB01
, 4G077BE15
, 4G077CB01
, 4G077CB04
, 4G077EB01
, 4G077EE07
, 4G077KA03
, 4G077KA06
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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