特許
J-GLOBAL ID：201503002090468304
マイクロ波プラズマ生成装置およびこれを作動させる方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
下田 容一郎
, 下田 憲雅
, 住吉 勝彦
, 瀧澤 匡則
, 野崎 俊剛
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-506336
公開番号（公開出願番号）：特表2015-520478
出願日： 2013年04月16日
公開日（公表日）： 2015年07月16日
要約：
本発明は、プラズマ室を備えたマイクロ波プラズマ生成装置を含んでいる。プラズマ室の外部には少なくとも1つのマイクロ波生成装置が設けられており、そのマイクロ波は少なくとも1つのマイクロ波入力結合装置を介してプラズマ室の中へ入力結合される。マイクロ波入力結合装置は、プラズマ室の少なくとも1つの室壁を通してプラズマ室の中へと案内される内部導体と、内部導体を包囲して内部導体をプラズマ室の内部空間から隔絶する絶縁管と、少なくとも1つの室壁を通してプラズマ室の中へと案内され、同軸ではあるが内部導体の円周全体にわたって設けられるのではない、少なくとも1つの外部導体とを有している。外部導体はプラズマ室の中に、少なくとも1つの外部導体端部を有している。内部導体と外部導体がマイクロ波導線を構成し、プラズマ室内にはプラズマ室の内部空間でマイクロ波プラズマを生成するためにマイクロ波導線からのマイクロ波の出口が設けられている。本発明によると、プラズマ室の内部空間に内部導体と同軸に、室壁に対して電気的に絶縁され、DC電圧、NF電圧、またはHF電圧で負荷可能な少なくとも1つのプラズマ電極が設けられており、該プラズマ電極とマイクロ波プラズマを電気的に接触可能であり、それによりマイクロ波プラズマに少なくとも部分的に外部導体の機能を移転可能である。さらに本発明は、このようなマイクロ波プラズマ生成装置を作動させる方法に関する。
請求項（抜粋）：
プラズマ室(2,2’)と、マイクロ波(μW)を生成するために前記プラズマ室(2,2’)の外部に設けられた少なくとも1つのマイクロ波生成装置と、マイクロ波(μW)を前記プラズマ室(2,2’)へ入力結合可能であるマイクロ波入力結合装置(29)とを有し、前記マイクロ波入力結合装置(29)は、前記プラズマ室(2,2’)の少なくとも1つの室壁(3)を通して前記プラズマ室(2,2’)内へと案内される内部導体(4)と、前記内部導体(4)を包囲して前記内部導体(4)を前記プラズマ室(2,2’)の内部空間(28)から隔絶する絶縁管(5)と、少なくとも1つの室壁(3)を通して前記プラズマ室(2,2’)内へと案内される、同軸ではあるが前記内部導体(4)の円周全体にわたって設けられるのではなく、前記プラズマ室(2,2’)内に少なくとも1つの外部導体端部(7)を有する外部導体(6,6’)とを有しており、前記内部導体(5)と前記外部導体(6,6’)とはマイクロ波導線を形成しており、前記プラズマ室(2,2’)内には前記プラズマ室(2,2’)の前記内部空間(28)でマイクロ波プラズマ(9)を生成するために前記マイクロ波導線からのマイクロ波(μW)の出口が設けられているマイクロ波プラズマ生成装置(1,1’,1’’,1’’’,1’’’’)において、
前記プラズマ室(2,2’)の前記内部空間(28)の中で前記内部導体(4)に対して同心的に、前記室壁(3)に対して電気的に絶縁性でありDC電圧、NF電圧、またはHF電圧で負荷可能な少なくとも1つのプラズマ電極(8)が設けられており、該プラズマ電極とマイクロ波プラズマ(9)を電気的に接触可能であり、それによりマイクロ波プラズマ(9)に少なくとも部分的に外部導体(6,6’)の機能を移転可能であることを特徴とするマイクロ波プラズマ生成装置。
IPC (5件)：
H05H 1/46
, H05H 1/24
, C23C 16/511
, H01L 21/306
, H01L 21/205
H05H1/46 B
, H05H1/46 M
, H05H1/24
, C23C16/511
, H01L21/302 101D
, H01L21/205
4K030AA06
, 4K030AA13
, 4K030BA40
, 4K030FA01
, 4K030GA12
, 4K030HA06
, 4K030KA16
, 4K030KA20
, 4K030KA30
, 5F004AA16
, 5F004BA04
, 5F004BB12
, 5F004BB13
, 5F004BB14
, 5F004BD04
, 5F045AA09
, 5F045BB08
, 5F045DP13
, 5F045EH13
, 5F045EH19
