特許
J-GLOBAL ID：201503002503029720
近接場計測
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-520408
公開番号（公開出願番号）：特表2015-524554
出願日： 2013年06月25日
公開日（公表日）： 2015年08月24日
要約：
システムの対物レンズとターゲットとの間に配置される光学素子を備える計測システム及び方法が本明細書で提供される。光学素子はターゲットにより反射された放射光のエバネッセントモードを高めるように配置される。多様な構成が開示され、光学素子は、照射放射光のエバネッセントモードを増幅するように、固体液浸レンズ、モアレ素子と固体液浸光学系との組み合わせ、異なったデザインの誘電体-金属-誘電体スタック、及び共鳴素子を備えてもよい。計測システム及び方法は、イメージング方法及び散乱計測方法を含む各種計測タイプに構成可能である。
請求項（抜粋）：
ターゲットのための計測システムであって、
対物レンズと、
該対物レンズとターゲットの間に、前記ターゲットと相互作用する放射光のエバネッセントモードを高めるように機能的に配置されている光学素子とを具備する
前記計測システム。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G01B11/00 G
, G01B11/00 H
, G01B11/00 C
, G03F9/00 A
2F065AA03
, 2F065AA07
, 2F065BB02
, 2F065CC17
, 2F065DD03
, 2F065DD05
, 2F065FF04
, 2F065FF41
, 2F065FF48
, 2F065FF49
, 2F065HH04
, 2F065HH08
, 2F065JJ03
, 2F065JJ08
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL10
, 2F065LL33
, 2F065LL34
, 2F065LL35
, 2F065LL42
, 2F065LL47
, 2F065QQ17
, 2H197EA17
, 2H197EA30
, 2H197EB05
, 2H197EB13
, 2H197EB23
, 2H197JA22
, 2H197JA23
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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