インプリントリソグラフィ用の材料

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (5件)：小野新次郎 , 小林泰 , 竹内茂雄 , 山本修 , 小笠原有紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-258521
公開番号（公開出願番号）：特開2015-130499
出願日： 2014年12月22日
公開日（公表日）： 2015年07月16日
要約：

【課題】凝固した時に基板上の転写層に良好に接着でき、かつ、インプリントテンプレート表面から容易に剥離されることにより、良好なレリーフパターンを形成できるインプリント材料を提供する。【解決手段】インプリント材料はフッ化界面活性剤と、光開始剤と、アクリレートとメタクリレートとからなる単量体のグループから選択される単量体とを含む。この材料を用いてインプリント層34のような成形可能領域が、実質的に平坦な輪郭を示す表面32の一部上に設けられる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

インプリントリソグラフィ用のインプリント材料であって、前記インプリント材料は、フッ化界面活性剤と、光開始剤と、アクリレートとメタクリレートとからなる単量体のグループから選択される単量体とを含むことを特徴とするインプリント材料。

IPC (6件)：

H01L 21/027 , C08F 20/10 , C08F 2/50 , C08F 2/44 , B29C 59/02 , G03F 7/20

FI (6件)：

H01L21/30 502D , C08F20/10 , C08F2/50 , C08F2/44 B , B29C59/02 Z , G03F7/20 521

Fターム (44件)：

2H197CE01 , 2H197HA03 , 4F209AA45 , 4F209AB04 , 4F209AF01 , 4F209AG05 , 4F209AH33 , 4F209AJ06 , 4F209AR20 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PC01 , 4F209PC05 , 4F209PN09 , 4J011PA24 , 4J011PB40 , 4J011PC02 , 4J011PC08 , 4J011QA03 , 4J011QA07 , 4J011QA12 , 4J011QA13 , 4J011QA43 , 4J011SA02 , 4J011SA14 , 4J011SA16 , 4J011SA20 , 4J011TA08 , 4J011TA10 , 4J011UA01 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL62R , 4J100BA80Q , 4J100BA82Q , 4J100BC08P , 4J100CA05 , 4J100FA39 , 4J100JA38 , 5F146AA32 , 5F146AA33 , 5F146AA34

引用特許：

審査官引用 (19件)

プレポリマー材料、ポリマー材料、インプリンティングプロセスおよびその使用
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-053111 出願人：メルクパテントゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフトング
光重合性組成物用の可視域光増感剤
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-337729 出願人：イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
感光性樹脂凸版材
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-210514 出願人：東レ株式会社

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