特許
J-GLOBAL ID：201503031120315612
3次元形状測定装置の高さ測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-512585
公開番号（公開出願番号）：特表2015-516580
出願日： 2013年05月22日
公開日（公表日）： 2015年06月11日
要約：
3次元形状測定装置の高さ測定方法は、複数個の第1照明装置及び第1照明装置と交互に配置された複数個の第2照明装置からそれぞれ第1等価波長を有する第1格子パターン光及び第1等価波長と異なる第2等価波長を有する第2格子パターン光を測定対象物に照射して第1格子パターン光に対応する第1パターン画像及び第2格子パターン光に対応する第2パターン画像を獲得する段階と、複数個の第1及び第2照明装置のうち互いに隣接する第1及び第2照明装置により獲得された第1及び第2パターン画像を互いに組合せて組合パターン画像を生成する段階と、組合パターン画像の組合等価波長による測定対象物の高さを算出する段階及び算出された測定対象物の高さを用いて測定対象物の代表高さを設定する段階を含む。これにより測定可能高さを超過する測定対象物の高さを測定でき、より正確で信頼できる測定対象物の高さを獲得できる。
請求項（抜粋）：
複数個の第1照明装置及び前記第1照明装置と交互に配置された複数個の第2照明装置からそれぞれ第1等価波長を有する第1格子パターン光、及び前記第1等価波長と異なる第2等価波長を有する第2格子パターン光を測定対象物に照射して、前記第1格子パターン光に対応する第1パターン画像及び第2格子パターン光に対応する第2パターン画像を獲得する段階と、
前記複数個の第1及び第2照明装置のうち互いに隣接する第1及び第2照明装置によって獲得された第1及び第2パターン画像を互いに組合せて組合パターン画像を生成する段階と、
前記組合パターン画像の組合等価波長による前記測定対象物の高さを算出する段階と、
前記算出された測定対象物の高さを用いて前記測定対象物の代表高さを設定する段階と、
を含むことを特徴とする3次元形状測定装置の高さ測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (16件)：
2F065AA24
, 2F065AA53
, 2F065CC25
, 2F065DD04
, 2F065FF04
, 2F065GG23
, 2F065HH06
, 2F065HH12
, 2F065HH14
, 2F065JJ19
, 2F065JJ26
, 2F065LL41
, 2F065QQ08
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ31
