特許
J-GLOBAL ID：201503032193986830
処理液供給装置及び処理液供給方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
井上 俊夫
, 三井田 友昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-207748
公開番号（公開出願番号）：特開2015-073007
出願日： 2013年10月02日
公開日（公表日）： 2015年04月16日
要約：
【課題】処理液を無駄に消費することなく、処理液中のパーティクルの増加を効率的に抑制することができる処理液供給装置を提供する。【解決手段】被処理体を処理するための処理液を供給する処理液供給源60と、前記処理液供給源に供給路を介して接続され、前記処理液を被処理体Wに吐出する吐出部70と、前記供給路に設けられ、処理液中の異物を除去するためのフィルタ装置52aと、前記供給路におけるフィルタ装置の一次側及び二次側に夫々設けられた供給ポンプP1及び吐出ポンプP2と、前記処理液供給源から供給された処理液を、前記供給ポンプ及び吐出ポンプの少なくとも一方を用いて減圧して脱気し、次いで脱気された処理液を前記供給ポンプ及び吐出ポンプを用いて前記フィルタ装置の一次側から当該フィルタ装置を介して二次側へ通過させるように制御信号を出力する制御部200と、を備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
被処理体を処理するための処理液を供給する処理液供給源と、
前記処理液供給源に供給路を介して接続され、前記処理液を被処理体に吐出する吐出部と、
前記供給路に設けられ、処理液中の異物を除去するためのフィルタ装置と、
前記供給路におけるフィルタ装置の一次側及び二次側に夫々設けられた供給ポンプ及び吐出ポンプと、
前記処理液供給源から供給された処理液を、前記供給ポンプ及び吐出ポンプの少なくとも一方を用いて減圧して脱気し、次いで脱気された処理液を前記供給ポンプ及び吐出ポンプを用いて前記フィルタ装置の一次側から当該フィルタ装置を介して二次側へ通過させるように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする処理液供給装置。
IPC (6件)：
H01L 21/027
, B05C 11/10
, B01D 19/00
, B01D 24/48
, B01D 29/60
, B05C 11/08
H01L21/30 564Z
, H01L21/30 569E
, B05C11/10
, B01D19/00 101
, B01D29/36 B
, B05C11/08
4D011AA17
, 4D011AC04
, 4D011AC06
, 4D011AD03
, 4F042AA07
, 4F042BA27
, 4F042CA07
, 4F042CB02
, 4F042CB03
, 4F042CB25
, 5F146JA01
, 5F146LA03
, 5F146PA17
