光学装置、投影光学系、露光装置および物品の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：大塚康徳 , 高柳司郎 , 大塚康弘 , 木村秀二 , 下山治 , 永川行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-205353
公開番号（公開出願番号）：特開2015-070214
出願日： 2013年09月30日
公開日（公表日）： 2015年04月13日
要約：

【課題】ミラーの反射面を変形させる上で有利な光学装置を提供する。【解決手段】ミラーの反射面を変形させる光学装置は、ベースプレートと、前記ミラーにおける前記反射面の反対側の面に接続された第1端と、前記ベースプレートに接続された第2端とを有し、前記第1端と前記第2端との距離を変化させるように変形することによって前記反射面の反対側の面にそれぞれ力を加える複数の第1アクチュエータと、前記ミラーと前記ベースプレートとの間に配置され、前記反射面の反対側の面にそれぞれ力を加える、前記第1アクチュエータより剛性の低い複数の第2アクチュエータと、前記複数の第1アクチュエータの各々における駆動状態を示す情報を検出するセンサと、前記センサからの出力に基づいて、前記反射面の形状が目標形状になるように各第1アクチュエータおよび各第2アクチュエータの駆動を制御する制御部と、を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ミラーの反射面を変形させる光学装置であって、ベースプレートと、前記ミラーにおける前記反射面の反対側の面に接続された第1端と、前記ベースプレートに接続された第2端とを有し、前記第1端と前記第2端との距離を変化させるように変形することによって前記反射面の反対側の面にそれぞれ力を加える複数の第1アクチュエータと、前記ミラーと前記ベースプレートとの間に配置され、前記反射面の反対側の面にそれぞれ力を加える、前記第1アクチュエータより剛性の低い複数の第2アクチュエータと、前記複数の第1アクチュエータの各々における駆動状態を示す情報を検出するセンサと、前記センサからの出力に基づいて、前記反射面の形状が目標形状になるように各第1アクチュエータおよび各第2アクチュエータの駆動を制御する制御部と、を含む、ことを特徴とする光学装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G02B 5/10

FI (3件)：

H01L21/30 515D , H01L21/30 516A , G02B5/10 B

Fターム (13件)：

2H042DD04 , 2H042DD05 , 2H042DD13 , 2H042DE04 , 5F146BA04 , 5F146BA05 , 5F146CB02 , 5F146CB45 , 5F146CB46 , 5F146DA13 , 5F146DB03 , 5F146DB04 , 5F146DB07

引用特許：

出願人引用 (8件)

反射光学素子及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-177555 出願人：株式会社ニコン
光学素子保持装置、露光装置およびデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-291295 出願人：キヤノン株式会社
投影露光装置の素子を作動させる機構
公報種別：公表公報出願番号：特願2014-508730 出願人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

全件表示

前のページに戻る