表示装置の作製方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-084926
公開番号（公開出願番号）：特開2016-184166
出願日： 2016年04月21日
公開日（公表日）： 2016年10月20日
要約：

【課題】表示品位が良好かつ歩留りの高い可撓性表示装置を提供する。【解決手段】第1の基板462上に第1の有機樹脂層320aを形成し、第1の有機樹脂層上に第1の絶縁膜321aを形成し、第1の絶縁膜321a上に第1の素子層を形成し、第2の基板上に第2の有機樹脂層を形成し、第2の有機樹脂層上に第2の絶縁膜を形成し、第2の絶縁膜上に第2の素子層を形成し、第1の素子層および第2の素子層が密閉されるように第1の基板と第2の基板を貼り合わせ、第1の有機樹脂層と第1の基板との密着性を低下させて第1の基板を分離する第1の分離工程を行い、第1の有機樹脂層と第1の可撓性基板を第1の接着層を介して接着し、第2の有機樹脂層と第2の基板との密着性を低下させて第2の基板を分離する第2の分離工程を行い、第2の有機樹脂層と第2の可撓性基板を第2の接着層を介して接着する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

第1の基板上に第1の有機樹脂層を形成し、前記第1の有機樹脂層上に第1の絶縁膜を形成し、前記第1の絶縁膜上に、チャネル形成領域が酸化物半導体を含むトランジスタを形成し、前記トランジスタ上に第2の絶縁膜を形成し、前記第2の絶縁膜上に、前記トランジスタと電気的に接続された発光素子を形成し、第2の有機樹脂層を介して前記発光素子と重なるように第2の基板を配置し、前記第1の基板を介して第1のレーザ光を前記第1の有機樹脂層に照射し、前記第1のレーザ光の照射後、前記第1の基板と前記第1の有機樹脂層とを分離し、前記第1の基板と前記第1の有機樹脂層とを分離した後、第1の可撓性基板と前記第1の有機樹脂層とを貼りあわせ、前記第2の基板を介して第2のレーザ光を前記第2の有機樹脂層に照射し、前記第2のレーザ光の照射後、前記第2の基板と前記第2の有機樹脂層とを分離し、前記第2の基板と前記第2の有機樹脂層とを分離した後、第2の可撓性基板と前記第2の有機樹脂層とを貼りあわせることを特徴とする表示装置の作製方法。

IPC (8件)：

G09F 9/00 , H01L 29/786 , H01L 21/336 , H01L 51/50 , H05B 33/02 , H05B 33/10 , G09F 9/30 , H01L 27/32

FI (9件)：

G09F9/00 338 , H01L29/78 618B , H01L29/78 626C , H01L29/78 618Z , H05B33/14 A , H05B33/02 , H05B33/10 , G09F9/30 338 , G09F9/30 365

Fターム (142件)：

3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC21 , 3K107CC45 , 3K107DD16 , 3K107DD17 , 3K107DD18 , 3K107FF15 , 3K107GG06 , 5C094AA02 , 5C094AA31 , 5C094AA42 , 5C094AA43 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094BA43 , 5C094DA13 , 5C094DA15 , 5C094DB04 , 5C094EB01 , 5C094EB10 , 5C094FB01 , 5C094FB14 , 5C094FB20 , 5C094GB10 , 5C094HA08 , 5C094JA08 , 5F110AA01 , 5F110AA06 , 5F110AA08 , 5F110AA14 , 5F110AA17 , 5F110BB01 , 5F110BB02 , 5F110CC01 , 5F110CC02 , 5F110CC07 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110DD04 , 5F110DD05 , 5F110DD12 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD15 , 5F110DD17 , 5F110DD21 , 5F110DD24 , 5F110DD25 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE07 , 5F110EE14 , 5F110EE30 , 5F110EE42 , 5F110EE44 , 5F110EE45 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF04 , 5F110FF05 , 5F110FF09 , 5F110FF10 , 5F110FF13 , 5F110FF27 , 5F110FF28 , 5F110FF29 , 5F110FF30 , 5F110FF36 , 5F110GG01 , 5F110GG02 , 5F110GG06 , 5F110GG12 , 5F110GG13 , 5F110GG14 , 5F110GG15 , 5F110GG16 , 5F110GG17 , 5F110GG19 , 5F110GG22 , 5F110GG25 , 5F110GG28 , 5F110GG29 , 5F110GG33 , 5F110GG34 , 5F110GG42 , 5F110GG43 , 5F110GG44 , 5F110HJ01 , 5F110HJ02 , 5F110HJ12 , 5F110HJ13 , 5F110HJ30 , 5F110HK01 , 5F110HK02 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK06 , 5F110HK17 , 5F110HK21 , 5F110HK32 , 5F110HK34 , 5F110HL07 , 5F110NN02 , 5F110NN03 , 5F110NN04 , 5F110NN05 , 5F110NN12 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN27 , 5F110NN28 , 5F110NN33 , 5F110NN35 , 5F110NN40 , 5F110NN44 , 5F110NN71 , 5F110NN72 , 5F110NN78 , 5F110PP10 , 5F110PP13 , 5F110PP34 , 5F110PP35 , 5F110QQ01 , 5F110QQ06 , 5F110QQ19 , 5G435AA01 , 5G435AA14 , 5G435AA17 , 5G435BB05 , 5G435BB12 , 5G435HH13 , 5G435HH14 , 5G435HH20 , 5G435KK05 , 5G435KK10 , 5G435LL07 , 5G435LL08

引用特許：

審査官引用 (11件)

発光装置、及び発光装置を用いた電子機器
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-109381 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
半導体装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-181829 出願人：株式会社日立ディスプレイズ
画像表示装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-120824 出願人：パナソニック液晶ディスプレイ株式会社

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