特許
J-GLOBAL ID：201603010677236163

検査装置および検査方法

発明者：
伊藤 明

伊藤 明 について

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中西 英俊

中西 英俊 について

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川山 巌

川山 巌 について

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斗内 政吉

斗内 政吉 について


出願人/特許権者：
株式会社SCREENホールディングス

株式会社SCREENホールディングス について

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国立大学法人大阪大学

国立大学法人大阪大学 について


代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-127160
公開番号（公開出願番号）：特開2016-007105
出願日： 2014年06月20日
公開日（公表日）： 2016年01月14日
要約：
【課題】フォトデバイスにおける、深さ方向に関して吸収波長領域が相互に異なる各部分を多角的に検査する技術を提供することを目的とする。【解決手段】検査装置100は、多接合型太陽電池90を検査対象物とする。検査装置100は、波長が相違する複数のパルス光LP11〜LP41を照射可能な励起光照射部12と、波長が相違する複数の連続光CWを照射可能な連続光照射部19、励起光照射部12が照射するパルス光の波長を設定するとともに、連続光照射部19が照射する連続光CWの波長を設定する設定部27と、励起光照射部12によって照射されたパルス光LP11〜LP41に応じて、多接合型太陽電池90から出射される電磁波パルスLT11〜LT41の電界強度を検出する検出部13とを備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
フォトデバイスを検査する検査装置であって、 波長が相違する複数の励起光をフォトデバイスに照射可能な励起光照射部と、 前記フォトデバイスにおける前記励起光が照射される部分に対して、波長が相違する複数の連続光を照射可能な連続光照射部と、 前記励起光照射部が前記フォトデバイスに照射する前記励起光の波長を設定するとともに、前記連続光照射部が前記フォトデバイスに照射する前記連続光の波長を設定する設定部と、 前記励起光照射部によって照射された前記励起光に応じて、前記フォトデバイスから出射される電磁波の電界強度を検出する検出部と、 を備える、検査装置。
IPC (4件)：
H02S 50/15 ,  H01L 31/068 ,  G01M 11/00 ,  H01L 21/66
FI (4件)：
H02S50/15 ,  H01L31/06 310 ,  G01M11/00 T ,  H01L21/66 C
Fターム (19件)：
2G086EE04 ,  4M106AA04 ,  4M106AC13 ,  4M106BA04 ,  4M106CA08 ,  4M106DE18 ,  4M106DE20 ,  4M106DJ24 ,  5F151AA02 ,  5F151AA03 ,  5F151AA08 ,  5F151BA11 ,  5F151DA03 ,  5F151DA17 ,  5F151DA19 ,  5F151FA06 ,  5F151FA13 ,  5F151FA15 ,  5F151KA09
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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引用文献：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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