特許
J-GLOBAL ID:200903077354551380
測定装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (7件):
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
, 荒川 伸夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-221277
公開番号(公開出願番号):特開2009-053096
出願日: 2007年08月28日
公開日(公表日): 2009年03月12日
要約:
【課題】比較的簡素な構成によって、より適切な周波数スペクトルをもつテラヘルツ波を発生することができる測定装置を提供する。【解決手段】第1テラヘルツ波発生源20は、パルス光L5(波長:780nm)を受けてテラヘルツ波T1を発生し、第2テラヘルツ波発生源30は、パルス光L2(波長:1.56μm)を受けてテラヘルツ波T2を発生する。検出部40は、パルス光L5およびL2と共通のパルス光光源10で発生したパルス光L6に応答して、測定対象OBJを透過した後のテラヘルツ波T1,T2の強度に応じた測定信号を出力する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
テラヘルツ波を用いて測定対象の特性を測定する測定装置であって、
第1波長をもつ第1パルス光を発生するパルス光光源と、
前記第1パルス光を受けて、第2波長をもつ第2パルス光を発生する波長変換部と、
前記第1パルス光を受けて、第1テラヘルツ波を発生する第1テラヘルツ波発生源と、
前記第2パルス光を受けて、第2テラヘルツ波を発生する第2テラヘルツ波発生源と、
前記第1テラヘルツ波と前記第2テラヘルツ波とを結合する結合部と、
前記結合部において結合されたテラヘルツ波を前記測定対象へ導くための導波路と、
前記測定対象を透過した後のテラヘルツ波を検出する検出部と、
前記第2パルス光を前記検出部へ導くための導光路とを備え、
前記検出部は、前記第2パルス光に応答して、入射しているテラヘルツ波の強度に応じた電気信号を出力する、測定装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (22件):
2G059AA02
, 2G059BB09
, 2G059CC12
, 2G059DD12
, 2G059DD13
, 2G059EE01
, 2G059EE12
, 2G059EE17
, 2G059FF08
, 2G059GG01
, 2G059HH01
, 2G059HH06
, 2G059JJ13
, 2G059JJ14
, 2G059JJ19
, 2G059JJ20
, 2G059JJ22
, 2G059JJ24
, 2G059KK10
, 2G059MM01
, 2G059MM10
, 2G059NN01
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (8件)
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