特許
J-GLOBAL ID：201603019064916843

ウエハ加工体、ウエハ加工用部材、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法

発明者：
加藤 英人

加藤 英人 について

, 
菅生 道博

菅生 道博 について

, 
田上 昭平

田上 昭平 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (4件)： 小島 隆司 ,  重松 沙織 ,  小林 克成 ,  石川 武史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-151325
公開番号（公開出願番号）：特開2013-048215
特許番号：特許第5846060号
出願日： 2012年07月05日
公開日（公表日）： 2013年03月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 支持体上に仮接着材層が形成され、かつ仮接着材層上に、表面に回路面を有し、裏面を加工すべきウエハが積層されてなるウエハ加工体であって、上記仮接着材層が、上記ウエハの表面に剥離可能に接着された熱可塑性オルガノポリシロキサン重合体層(A)からなる第一仮接着層と、この第一仮接着層に積層され、上記支持体に剥離可能に接着された熱硬化性変性シロキサン重合体層(B)からなる第二仮接着層を備えたウエハ加工体。
IPC (3件)：
H01L 21/304 ( 200 6.01) ,  C09J 183/04 ( 200 6.01) ,  C09J 7/02 ( 200 6.01)
FI (4件)：
H01L 21/304 622 J ,  C09J 183/04 ,  C09J 7/02 Z ,  H01L 21/304 631
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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