特許
J-GLOBAL ID：201603020911616574
プラズマ装置、それを用いたカーボン薄膜の製造方法およびコーティング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
上羽 秀敏
, 坂根 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-081481
公開番号（公開出願番号）：特開2016-172927
出願日： 2016年04月14日
公開日（公表日）： 2016年09月29日
要約：
【課題】カーボン薄膜コーティング時に、陰極物質が割れるのを抑制できるプラズマ装置の提供。【解決手段】プラズマ装置10は、真空容器1と、アーク式蒸発源3と、陰極部材4と、シャッター5と、電源7と、トリガー電極8とを備える。アーク式蒸発源3は、真空容器1の側壁に基板20に対向して固定される。陰極部材4は、突起部を有するガラス状炭素からなり、アーク式蒸発源3に取り付けられる。電源7は、アーク式蒸発源3に負の電圧を印加する。トリガー電極8は、陰極部材4の突起部に接触または離反する。アーク式蒸発源3に負の電圧を印加し、トリガー電極8を陰極部材4の突起部に接触させてアーク放電を発生させ、シャッター5を開けてカーボン薄膜を基板20上に形成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空容器と、
前記真空容器に固定されたアーク式蒸発源と、
前記アーク式蒸発源に取り付けられた陰極部材と、
前記陰極部材に向かって配置された基板を保持する保持部材と、
放電を開始させる放電開始手段と、
前記アーク式蒸発源に負の電圧を印加する電源とを備え、
前記陰極部材は、ガラス状炭素からなり、柱状形状を有する少なくとも1つの柱状部分を含み、
前記放電開始手段は、プラズマが前記陰極部材の前記少なくとも1つの柱状部分から放出されるように放電を開始させる、プラズマ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C14/32 A
, C23C14/06 F
4K029AA02
, 4K029AA04
, 4K029AA11
, 4K029BA34
, 4K029CA03
, 4K029CA13
, 4K029DA12
, 4K029DB02
, 4K029DB07
, 4K029DB08
, 4K029DB15
, 4K029DD06
, 4K029JA02
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (13件)
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