特許
J-GLOBAL ID：201703001455789405
水素センサおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
名古屋国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-239537
公開番号（公開出願番号）：特開2017-151081
出願日： 2016年12月09日
公開日（公表日）： 2017年08月31日
要約：
【課題】P型シリコンナノワイヤーアレイ、およびナノワイヤーアレイ表面に形成された水素化触媒を含む水素センサおよびその製造方法を提供する。【解決手段】P型シリコンウェハーをエッチングしてP型シリコンナノワイヤーアレイを形成する。その後水素化触媒を蒸着することでナノワイヤーアレイ表面に水素化触媒を皮膜形態または粒子の形態で形成させる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
P型シリコンナノワイヤーアレイ、および
前記ナノワイヤーアレイ表面に形成された水素化触媒を含む、水素センサ。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G01N27/12 B
, G01N27/12 C
2G046AA05
, 2G046BB02
, 2G046BB04
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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引用文献：
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