インプリント方法、インプリント装置及びその制御用コンピュータプログラム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：高橋拓也 , 大西邦幸 , 石川隆史 , 北▲崎▼ 聡一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-044844
公開番号（公開出願番号）：特開2017-162930
出願日： 2016年03月08日
公開日（公表日）： 2017年09月14日
要約：

【課題】インプリント前に基板上の異物等を検出し、押印時のテンプレートの破壊リスクを低減したインプリント装置、インプリント方法及びその制御用コンピュータプログラムを提供する。【解決手段】本実施形態のインプリント装置は、被加工物上の複数のショット領域に、転写材としての樹脂材料を滴下する液滴下部と、テンプレートを前記被加工物上の前記樹脂材料に押し当て、引き離すことが可能なインプリント部と、前記複数のショット領域の表面状態を測定する検査部と、前記複数のショット領域のうちそれぞれのショット領域の表面状態を反映させた第1成分と、前記複数のショット領域のそれぞれの第1成分の平均を反映させた第2成分と、前記第1成分から前記第2成分を差し引いた第3成分とを分析する分析部と、前記第3成分に基づき前記被加工物へのインプリント可否判断を行う判断部と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被加工物上の複数のショット領域に、転写材としての樹脂材料を滴下する液滴下部と、テンプレートを前記被加工物上の前記樹脂材料に押し当て、引き離すことが可能なインプリント部と、インプリント前の前記複数のショット領域の表面状態を測定する検査部と、インプリント前の前記複数のショット領域のうちそれぞれのショット領域の表面状態を反映させた第1成分と、前記複数のショット領域のそれぞれの第1成分の平均を反映させた第2成分と、前記第1成分から前記第2成分を差し引いた第3成分とを分析する分析部と、前記第3成分に基づき前記被加工物へのインプリント可否判断を行う判断部と、を備えたインプリント装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , B81C 1/00 , B29C 59/02

FI (4件)：

H01L21/30 502D , H01L21/30 564Z , B81C1/00 , B29C59/02 Z

Fターム (27件)：

3C081AA18 , 3C081BA09 , 3C081CA02 , 3C081CA31 , 3C081CA37 , 3C081CA44 , 3C081DA03 , 3C081DA25 , 3C081DA27 , 3C081DA28 , 3C081DA43 , 4F209AA44 , 4F209AF01 , 4F209AG05 , 4F209AH33 , 4F209AJ06 , 4F209AP12 , 4F209AR20 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PC01 , 4F209PC05 , 4F209PN09 , 4F209PQ11 , 5F146AA17 , 5F146AA31 , 5F146JA01

引用特許：

審査官引用 (10件)

インプリント装置、検出方法、物品の製造方法及び異物検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-284462 出願人：キヤノン株式会社
半導体ウエハの検査装置及び検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-376282 出願人：日本電気株式会社
特開平4-129241

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