特許
J-GLOBAL ID：201703006266943616
変位装置及び変位装置を製造、使用、制御する方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人北青山インターナショナル
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-537437
特許番号：特許第6204366号
出願日： 2012年10月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 作業領域を提供する形状の複数の細長いコイルを備える固定子であって、前記コイルのトレースが概ね線形に向けられ、前記複数の細長いコイルは、
対応する第1の固定子Z位置において第1の層に分散した第1の複数のコイルトレースであって、前記第1の層で固定子X方向において概ね線形に細長い、第1の複数のコイルトレース、及び
対応する第2の固定子Z位置において第2の層に分散した第2の複数のコイルトレースであって、前記第2の層で固定子Y方向において概ね線形に細長く、前記固定子Y方向は前記固定子X方向と平行しない、第2の複数のコイルトレース
を備え、
前記第1の層及び前記第2の層は、前記作業領域で固定子Z方向において互いに重なり、前記固定子Z方向は、前記固定子X方向及び前記固定子Y方向の両方に概ね直交する、固定子と、
複数の磁石アレイを備える可動式ステージであって、前記複数の磁石アレイは、
ステージX方向において概ね線形に細長い複数の第1の磁化セグメントを備える第1の磁石アレイであって、各第1の磁化セグメントは、前記ステージX方向に概ね直交する磁化方向を有し、前記第1の磁化セグメントのうちの少なくとも2つは、互いに異なる磁化方向を有する、第1の磁石アレイ、及び
前記ステージX方向に平行しないステージY方向において概ね線形に細長い複数の第2の磁化セグメントを備える第2の磁石アレイであって、各第2の磁化セグメントは、前記ステージY方向に概ね直交する磁化方向を有し、前記第2の磁化セグメントのうちの少なくとも2つは、互いに異なる磁化方向を有する、第2の磁石アレイ、
を備える、可動式ステージと、
接続されて、前記第1の複数のコイルトレース及び前記第2の複数のコイルトレースにおいて電流を駆動し、それにより、前記固定子と前記可動式ステージとの間での相対移動を行わせる1つ又は複数の増幅器と、
を備え、
第1の複数のコイルの各々の固定子X方向寸法及び第2の複数のコイルの各々の固定子Y方向寸法は、それぞれ、前記可動式ステージの複数の磁石アレイのステージX方向範囲及び前記可動式ステージの複数の磁石アレイのステージY方向範囲より大きいことを特徴とする、変位装置。
IPC (2件)：
H02K 41/03 ( 200 6.01)
, H02P 25/064 ( 201 6.01)
H02K 41/03 A
, H02P 25/064
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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