特許
J-GLOBAL ID：201703006893986487

検査装置及び検査方法

発明者：
畠山 雅規

畠山 雅規 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (9件)： 大野 聖二 ,  小林 英了 ,  大野 浩之 ,  森田 耕司 ,  津田 理 ,  松野 知紘 ,  酒谷 誠一 ,  佃 誠玄 ,  野本 裕史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-005367
公開番号（公開出願番号）：特開2017-126498
出願日： 2016年01月14日
公開日（公表日）： 2017年07月20日
要約：
【課題】 感度の高い電子像追従式の検査装置を提供する。【解決手段】 検査装置は、試料を載置して連続的に移動するステージ装置と、電子光学装置と、制御装置と、を備える。電子光学装置は、1次光学系と、2次光学系と、検出器と、を有している。2次光学系は、ステージ装置の移動に同期して、ステージ装置の移動によって試料が移動している間に、試料の同じ部分から発生した二次ビームが二次元センサの同じ部分に入射するように、多極子によって重畳電界を発生させることで前記二次ビームを偏向する偏向器を含む。二次元センサは、二次ビームの電子を光に変換することなく直接検出して画像信号を出力するEB半導体センサである。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
試料を検査する検査装置であって、 試料を載置して連続的に移動するステージ装置と、 電子光学装置と、 前記ステージ装置及び前記電子光学装置の動作を制御する制御装置と、を備え、 前記電子光学装置は、 前記ステージ装置上の前記試料に対して一次ビームを照射する1次光学系と、 前記一次ビームを前記試料に照射することで前記試料から発生した二次ビームの像を生成する二次元センサを含む検出器と、 前記二次ビームを前記二次元センサに導く2次光学系と、を有し、 前記2次光学系は、前記ステージ装置の移動に同期して、前記ステージ装置の移動によって前記試料が移動している間に、前記試料の同じ部分から発生した二次ビームが前記二次元センサの同じ部分に入射するように、多極子によって重畳電界を発生させることで前記二次ビームを偏向する偏向器を含み、 前記二次元センサは、前記二次ビームの電子を光に変換することなく直接検出して画像信号を出力するEB(Electron Bombardment)半導体センサであることを特徴とする検査装置。
IPC (7件)：
H01J 37/244 ,  H01J 37/29 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/20 ,  H01L 21/66
FI (7件)：
H01J37/244 ,  H01J37/29 ,  H01J37/22 502H ,  H01J37/28 B ,  H01J37/147 B ,  H01J37/20 A ,  H01L21/66 J
Fターム (17件)：
4M106AA01 ,  4M106AA09 ,  4M106BA02 ,  4M106BA05 ,  4M106CA38 ,  4M106DB02 ,  4M106DB05 ,  5C001AA01 ,  5C001CC04 ,  5C001DD03 ,  5C033FF06 ,  5C033NN02 ,  5C033NN10 ,  5C033UU01 ,  5C033UU03 ,  5C033UU05 ,  5C033UU10
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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