保護膜形成装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：青木宏義 , 天田昌行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-107563
公開番号（公開出願番号）：特開2017-216291
出願日： 2016年05月30日
公開日（公表日）： 2017年12月07日
要約：

【課題】メンテナンスの負担軽減を図ることができるようにすること。【解決手段】保護膜形成装置(10)は、保護テープ(T)を介して環状フレーム(F)内に貼着されたウエーハ(W)を上面に保持する保持テーブル(11)を有する。保持テーブルは、ウエーハ裏面を保護テープを介して吸引保持する中央保持部(41)と、中央保持部を囲繞して形成され、ウエーハ外周の保護テープの裏面を保持する外周保持面(42a)を有する外周保持部(42)とを備える。外周保持面には、中央保持部に連通する連通溝(44)が形成される。ウエーハ表面に保護膜(Ra)を形成するときに、ウエーハが中央保持部に吸引保持されるとともに、連通溝に連通する吸引力によりウエーハ外周の保護テープの裏面が外周保持部に吸引保持される。従って、環状フレームをクランプするクランプ機構を設けなくてもウエーハを保持することができる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

保護テープを介して環状フレーム内に貼着された板状物を上面に保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該板状物の表面に液状樹脂を供給する液状樹脂供給ノズルを有する液体供給手段と、該保持テーブルの上面に対して鉛直方向を回転軸として回転させ、該板状物表面に供給された液状樹脂を該板状物表面全体に広げる回転駆動部と、を備え、該板状物表面に液状樹脂からなる保護膜を形成する保護膜形成装置であって該保持テーブルは、該板状物裏面を該保護テープを介して吸引保持する保持面を有する該ポーラス部材で形成された板状物保持部と、該板状物保持部を囲繞して形成され少なくとも該板状物外周の該保護テープの裏面を保持する外周保持面を有する外周保持部と、を備え、該外周保持部の該外周保持面には、該板状物保持部の該ポーラス部材に連通する連通溝が形成され該ポーラス部材からの吸引力が該連通溝に連通し、該板状物が該板状物保持部に吸引保持されるとともに、該連通溝に連通する吸引力により少なくとも該板状物外周の該保護テープの裏面が該外周保持部に吸引保持され、該保持テーブルが回転され該板状物表面に保護膜を形成することを特徴とする保護膜形成装置。

IPC (2件)：

H01L 21/683 , H01L 21/301

FI (2件)：

H01L21/68 P , H01L21/78 L

Fターム (24件)：

5F063AA21 , 5F063BA33 , 5F063BA34 , 5F063BA47 , 5F063BA48 , 5F063CA01 , 5F063CA06 , 5F063DD26 , 5F063DF06 , 5F063DF24 , 5F063FF04 , 5F131AA02 , 5F131AA03 , 5F131BA60 , 5F131CA45 , 5F131EA06 , 5F131EA14 , 5F131EA23 , 5F131EA24 , 5F131EB02 , 5F131EB03 , 5F131EB04 , 5F131EC32 , 5F131EC44

引用特許：

審査官引用 (7件)

保護膜塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-067622 出願人：株式会社ディスコ
保持テーブル
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-237617 出願人：株式会社ディスコ
吸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-128214 出願人：リンテック株式会社

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