特許
J-GLOBAL ID：201703012091449400
測定方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
好宮 幹夫
, 小林 俊弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-139706
公開番号（公開出願番号）：特開2017-026609
出願日： 2016年07月14日
公開日（公表日）： 2017年02月02日
要約：
【課題】測定装置に適用される測定方法を提供する。【解決手段】被測定物を光学的走査して、走査影像を発生させる工程と、走査影像を再生立体像に再生する工程と、被測定物に係る非水平スライス方向を含むスライス方向を調整して、再生立体像を断面像にスライスする工程と、断面像を測定することで、被測定物の少なくとも1つの特徴を分析する工程と、被測定物の測定結果を出力する工程と、を備える測定方法。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
被測定物を光学的走査して、走査影像を発生させる工程と、
前記走査影像を再生立体像に再生する工程と、
前記被測定物に係る非水平スライス方向を含むスライス方向を調整して、前記再生立体像を断面像にスライスする工程と、
前記断面像を測定して、前記被測定物の少なくとも1つの特徴を分析する工程と、
前記被測定物の測定結果を出力する工程と、
を備える測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N23/04 320
, G01N23/18
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA09
, 2G001GA01
, 2G001HA07
, 2G001HA14
, 2G001JA09
, 2G001KA03
, 2G001LA11
