特許
J-GLOBAL ID：201703014685693240
前室アーム配置機構
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
佐野 弘
, 石井 明夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-265073
公開番号（公開出願番号）：特開2014-110375
特許番号：特許第6142346号
出願日： 2012年12月04日
公開日（公表日）： 2014年06月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 処理基板に所望の処理を施す処理室と、
該処理室との間で前記処理基板の搬入及び搬出を行う装置前室と、
前記装置前室内に設けられ、複数段のスライドアームを相対移動させることにより水平方向に伸縮して、前記処理室と前記装置前室との間で前記処理基板を搬送する搬送アームとを備える小型製造装置の、前室アーム配置機構であって、
前記搬送アームを昇降させるアーム昇降モータ機構を備え、
前記装置前室は、前記処理基板が搬入されるクリーン化室が上側に設けられるとともに、該クリーン化室から気密に分離された駆動室が下側に設けられ、
前記搬送アームが昇降台上に設置されて前記クリーン化室内に配置され、且つ、前記アーム昇降モータ機構が前記駆動室内に配置され、
前記装置前室を前記クリーン化室と前記駆動室とに分離する仕切り板と、
該仕切り板に設けられた第1の貫通孔と、
前記昇降台の下面に上端が気密に固着され、且つ、前記第1の貫通孔の外縁外側を囲むように前記仕切り板の上面に下端が気密に固着された、昇降方向に伸縮可能な第1のアーム昇降ベローズと、
前記第1の貫通孔及び前記第1のアーム昇降ベローズを貫通して前記昇降台の下面に連結固定された昇降軸とを備え、
該昇降軸を前記アーム昇降モータ機構が昇降させることにより、前記搬送アームを昇降させる、
ことを特徴とする前室アーム配置機構。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (2件)
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ロードロック装置および真空処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2010-291683
出願人：芝浦メカトロニクス株式会社
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搬送装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2010-066085
出願人：株式会社アルバック
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