特許
J-GLOBAL ID：201703016308145176
保持装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人アルファ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-046839
公開番号（公開出願番号）：特開2017-163019
出願日： 2016年03月10日
公開日（公表日）： 2017年09月14日
要約：
【課題】絶縁板の第1の表面の温度分布の均一性が低下することを抑制する保持装置を提供する。【解決手段】静電チャック100では、ヒータ50は、一対の第1の端部の一方から他方まで延びている第1のヒータ線510と、一対の第2の端部の一方から他方まで延びている第2のヒータ線520と、一対の第3の端部の一方から他方まで延びており、かつ、一対の第3の端部の一方が一対の第2の端部の一方に電気的に接続され、一対の第3の端部の他方が一対の第2の端部の他方に電気的に接続されている第3のヒータ線530と、を含む。第1のヒータ線の一の線部分に対し、第2のヒータ線の少なくとも一部が、第3のヒータ線より近くに配置されており、第1のヒータ線が延びる第2の方向における位置が一の線部分とは異なる第1のヒータ線の別の線部分に対し、第3のヒータ線の少なくとも一部が、第2のヒータ線より近くに配置されている。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面と、を有する板状の絶縁板と、
前記絶縁板の内部、または、前記絶縁板の前記第2の表面側に配置されたヒータと、
を備え、前記絶縁板の前記第1の表面側で対象物を保持する保持装置において、
前記ヒータは、
一対の第1の端部を有し、前記一対の第1の端部の一方から他方まで延びている第1のヒータ線と、
一対の第2の端部を有し、前記一対の第2の端部の一方から他方まで延びている第2のヒータ線と、
一対の第3の端部を有し、前記一対の第3の端部の一方から他方まで延びており、かつ、前記一対の第3の端部の一方が前記一対の第2の端部の一方に電気的に接続され、前記一対の第3の端部の他方が前記一対の第2の端部の他方に電気的に接続されている第3のヒータ線と、を含み、
前記絶縁板の前記第1の表面に直交する第1の方向視で、
前記第1のヒータ線の一の線部分に対し、前記第2のヒータ線の少なくとも一部が、前記第3のヒータ線より近くに配置されており、
前記第1のヒータ線が延びる第2の方向における位置が前記一の線部分とは異なる前記第1のヒータ線の別の線部分に対し、前記第3のヒータ線の少なくとも一部が、前記第2のヒータ線より近くに配置されていることを特徴とする、保持装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 R
, H02N13/00 D
5F131AA02
, 5F131CA03
, 5F131CA06
, 5F131EB11
, 5F131EB14
, 5F131EB78
, 5F131EB81
, 5F131EB82
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (2件)
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