研究者
J-GLOBAL ID:201801005891758081   更新日: 2022年10月01日

會田 英雄

アイダ ヒデオ | Aida Hideo
所属機関・部署:
職名: 准教授
論文 (45件):
MISC (10件):
書籍 (4件):
  • Advances in Chemical Mechanical Planarization (CMP)
    Elsevier 2016
  • Handbook of Ceramics Grinding and Polishing
    Elsevier 2014
  • 精密加工と微細構造の形成技術
    技術情報協会 2013
  • GaNパワーデバイスの技術展開
    S&T出版 2012
講演・口頭発表等 (7件):
  • 難加工単結晶材料の超精密加工~ファインバブル水を用いた研磨加工事例~
    (ファインバブル技術講習会 2018)
  • 次世代オプトエレクトロニクス単結晶とその超精密加工技術
    (接合界面創成技術大191委員会研究会 2017)
  • High Efficiency Surface Planarization of Single Crystal Diamond Substrate by Plasma Fusion Chemical Mechanical Polishing
    (The 11th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering 2017)
  • Fabrication of freestanding heteroepitaxial diamond substrate via micropatterns and microneedles
    (応用物理学会秋季学術講演会 2017)
  • 次世代オプトエレクトロニクス単結晶の精密加工技術とその応用
    (にいがたナノ基盤技術実践会 2017)
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経歴 (4件):
  • 2017/06/01 - 現在 長岡技術科学大学 准教授
  • 2016/11/01 - 2018/03/31 九州大学 グローバルイノベーションセンター 客員教授
  • 2015/04/01 - 2016/03/31 九州大学 産学連携センター 特任教授
  • 2013/04/01 - 2015/03/31 九州大学 産学連携センター 特任准教授
受賞 (4件):
  • 2017/09/05 - 応用物理学会 応用物理学会優秀論文賞
  • 2017/07/14 - MIRAI conference on Microfabrication and Green Technology Excellent Paper Award
  • 2016/04/21 - 日本機械学会 日本機械学会論文賞
  • 2016/03/16 - 精密工学会 精密工学会高城賞
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