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J-GLOBAL ID：201802278372508174   整理番号：18A1183464

水中でのSiCの白金触媒加水分解エッチング:密度汎関数理論研究

Platinum-catalyzed hydrolysis etching of SiC in water: A density functional theory study

著者 (8件)： BUI Pho Van (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  TOH Daisetsu (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  ISOHASHI Ai (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MATSUYAMA Satoshi (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  INAGAKI Kouji (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  SANO Yasuhisa (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  YAMAUCHI Kazuto (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MORIKAWA Yoshitada (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 57  号： 5  ページ： 055703.1-055703.5  発行年： 2018年05月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Pt触媒を用いた水によるSiCエッチングの物理化学的相互作用と反応機構の包括的研究は,界面における表面処理と触媒現象についての重要な詳細を明らかにすることができる。したがって,密度汎関数理論シミュレーションを行い,HF支援機構と比較して,Pt支援水解離の動力学とSi-C結合の破壊を研究した。これらの計算では,Pt-SiC界面での弾性および化学的相互作用エネルギー,Si-C結合解離の活性化障壁,およびPtの触媒的役割を注意深く考慮した。水中でのSiCのPt触媒エッチングは,最上部Si-C結合を破壊する加水分解反応により開始されることが分かった。活性化障壁は弾性及び化学相互作用に強く依存した。しかし,化学的相互作用は支配的因子であり,主に活性化障壁の低下に寄与し,反応速度の増加をもたらした。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *炭化ケイ素 ,  *白金触媒 ,  *加水分解 ,  *エッチング ,  *密度汎関数法 ,  現象 ,  反応機構 ,  表面処理 ,  エネルギー ,  相互作用 ,  解離エネルギー ,  ポテンシャル障壁 ,  反応速度
準シソーラス用語： 化学的相互作用 ,  活性化障壁 ,  結合解離エネルギー ,  弾性エネルギー ,  物理化学的現象

分類 (2件)： 分解反応  (CF02080P) ,  貴金属触媒  (CB06122I)

引用文献 (33件)：

• T. Kimoto, Jpn. J. Appl. Phys. 54, 040103 (2015).
• K. Hamada, M. Nagao, M. Ajioka, and F. Kawai, IEEE Trans. Electron Devices 62, 278 (2015).
• B. Chen, H. Matsuhata, T. Sekiguchi, K. Ichinoseki, and H. Okumura, Acta Mater. 60, 51 (2012).
• H. Fujiwara, H. Naruoka, M. Konishi, K. Hamada, T. Katsuno, T. Ishikawa, Y. Watanabe, and T. Endo, Appl. Phys. Lett. 101, 042104 (2012).
• S. W. King, R. J. Nemanich, and R. F. Davis, J. Electrochem. Soc. 146, 1910 (1999).

タイトルに関連する用語 (7件)： 水中 ,  SiC ,  白金触媒 ,  加水分解 ,  エッチング ,  密度汎関数理論 ,  研究