特許
J-GLOBAL ID:201803002133137147
固体撮像装置、および電子機器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人信友国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-061210
公開番号(公開出願番号):特開2018-129525
出願日: 2018年03月28日
公開日(公表日): 2018年08月16日
要約:
【課題】色バランスが良好で色つきの無い固体撮像装置を提供する。【解決手段】複数の画素が設けられた半導体層と、前記画素毎に前記半導体層内に設けられた光電変換部と、前記半導体層の受光面側に設けられた第1の溝型素子分離と、前記半導体層の前記受光面側の、前記第1の溝型素子分離とは異なる位置に設けられた第2の溝型素子分離と、前記第1の溝型素子分離から、第1の方向にずれた位置に形成された第1の遮光膜と、前記第2の溝型素子分離から、第2の方向にずれた位置に形成された第2の遮光膜と、を備え、前記第1の溝型素子分離と前記第2の溝型素子分離の内部には絶縁層が形成され、前記第1の方向と前記第2の方向は逆方向である固体撮像装置。【選択図】図3
請求項(抜粋):
複数の画素が設けられた半導体層と、
前記画素毎に前記半導体層内に設けられた光電変換部と、
前記半導体層の受光面側に設けられた第1の溝型素子分離と、
前記半導体層の前記受光面側の、前記第1の溝型素子分離とは異なる位置に設けられた第2の溝型素子分離と、
前記第1の溝型素子分離から、第1の方向にずれた位置に形成された第1の遮光膜と、
前記第2の溝型素子分離から、第2の方向にずれた位置に形成された第2の遮光膜と、
を備え、
前記第1の溝型素子分離と前記第2の溝型素子分離の内部には絶縁層が形成され、
前記第1の方向と前記第2の方向は逆方向である
固体撮像装置。
IPC (3件):
H01L 27/146
, H04N 5/369
, H01L 21/76
FI (5件):
H01L27/146 A
, H04N5/369
, H01L21/76 M
, H01L21/76 L
, H01L27/146 D
Fターム (27件):
4M118AA06
, 4M118AB01
, 4M118BA14
, 4M118CA03
, 4M118DD04
, 4M118FA06
, 4M118FA26
, 4M118FA27
, 4M118FA28
, 4M118GA02
, 4M118GB04
, 4M118GB07
, 4M118GB11
, 4M118GC08
, 4M118GC14
, 4M118GD04
, 4M118GD07
, 5C024CY47
, 5C024EX43
, 5F032AA35
, 5F032AA39
, 5F032AA44
, 5F032AA46
, 5F032AA54
, 5F032AB02
, 5F032BB01
, 5F032DA02
引用特許:
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