単体静電チャック

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：安齋嘉章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-078196
公開番号（公開出願番号）：特開2018-142714
出願日： 2018年04月16日
公開日（公表日）： 2018年09月13日
要約：

【課題】安価で製造が用意な静電チャックを提供する。【解決手段】静電チャック150は、複数の加熱要素176が内部に配置された熱伝導性ベース164を含む。金属層180は、熱伝導性ベース164の少なくとも一部を覆い、複数の加熱要素176を高周波(RF)結合から遮蔽し、静電チャック用の電極として機能する。耐プラズマ性誘電体層136が、金属層180を覆う。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

単体の静電チャックであって、金属体と、金属体内に埋め込まれた複数の主加熱要素と、金属体の上面内に形成された凹部内に配置された複数の補助加熱要素を含み、複数の主加熱要素と複数の補助加熱要素は、誘電体材料により金属体から電気的に分離されており、複数の主加熱要素と複数の補助加熱要素は、金属体内の異なる面にあり、複数の補助加熱要素は、複数の主加熱要素よりも低い電力である単体の静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/683 , H01L 21/306 , B25J 15/06 , H02N 13/00

FI (4件)：

H01L21/68 R , H01L21/302 101G , B25J15/06 S , H02N13/00 D

Fターム (38件)：

3C707AS24 , 3C707FS10 , 5F004AA01 , 5F004BA09 , 5F004BB13 , 5F004BB18 , 5F004BB22 , 5F004BB23 , 5F004BB25 , 5F004BB26 , 5F004BB28 , 5F004CB12 , 5F004DA01 , 5F004DA02 , 5F004DA04 , 5F004DA13 , 5F004DA16 , 5F004DA17 , 5F004DA18 , 5F004DA22 , 5F004DA23 , 5F004DA25 , 5F004DA26 , 5F131AA02 , 5F131BA03 , 5F131BA04 , 5F131BA19 , 5F131CA32 , 5F131CA68 , 5F131EA03 , 5F131EB12 , 5F131EB14 , 5F131EB17 , 5F131EB18 , 5F131EB25 , 5F131EB54 , 5F131EB78 , 5F131EB81

引用特許：

審査官引用 (11件)

加熱方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-047178 出願人：日本碍子株式会社
加熱型基板支持体及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-282866 出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
特開平3-194948

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