特許
J-GLOBAL ID：201803007661392827

切削方法及び切削装置

発明者：
立石 俊幸

立石 俊幸 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (3件)： 松本 昂 ,  岡本 知広 ,  笠原 崇廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-203074
公開番号（公開出願番号）：特開2018-062052
出願日： 2016年10月14日
公開日（公表日）： 2018年04月19日
要約：
【課題】切削ブレードのドレッシングを適切なタイミングで行うことができる切削方法を提供する。【解決手段】複数の砥粒と該複数の砥粒を結合するボンド材とを含む切削ブレードで被加工物を切削する切削方法であって、被加工物に設定された複数の切削予定ラインに沿って切削ブレードで被加工物を切削する切削ステップと、切削ステップの実施中又は切削ステップを実施した後に、切削ブレードの刃先の状態を検出する刃先状態検出ステップと、刃先状態検出ステップを実施した後に、検出された刃先の状態に基づいて切削ブレードのドレッシングが必要か否かを判定する判定ステップと、判定ステップでドレッシングが必要と判定された場合に、切削ブレードでドレス材を切削して切削ブレードのドレッシングを行うドレスステップと、を含む。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
複数の砥粒と該複数の砥粒を結合するボンド材とを含む切削ブレードで被加工物を切削する切削方法であって、 被加工物に設定された複数の切削予定ラインに沿って該切削ブレードで被加工物を切削する切削ステップと、 該切削ステップの実施中又は該切削ステップを実施した後に、該切削ブレードの刃先の状態を検出する刃先状態検出ステップと、 該刃先状態検出ステップを実施した後に、検出された刃先の状態に基づいて該切削ブレードのドレッシングが必要か否かを判定する判定ステップと、 該判定ステップでドレッシングが必要と判定された場合に、該切削ブレードでドレス材を切削して該切削ブレードのドレッシングを行うドレスステップと、を備えることを特徴とする切削方法。
IPC (5件)：
B24B 53/00 ,  B24B 27/06 ,  B24B 53/12 ,  B24B 49/18 ,  H01L 21/301
FI (5件)：
B24B53/00 K ,  B24B27/06 M ,  B24B53/12 Z ,  B24B49/18 ,  H01L21/78 F
Fターム (26件)：
3C034AA19 ,  3C034BB91 ,  3C034BB93 ,  3C034CA09 ,  3C034CB12 ,  3C034DD07 ,  3C034DD10 ,  3C047AA02 ,  3C047AA08 ,  3C047AA33 ,  3C047DD20 ,  3C047EE09 ,  3C047FF06 ,  3C047FF11 ,  3C158AA03 ,  3C158AA19 ,  3C158BA09 ,  3C158CA01 ,  3C158CB01 ,  3C158CB03 ,  3C158DA17 ,  5F063AA48 ,  5F063DD02 ,  5F063DD20 ,  5F063DD22 ,  5F063DE33
引用特許：
審査官引用 (10件)
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