近接場計測

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-520408
特許番号：特許第6312664号
出願日： 2013年06月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ターゲットのための計測システムであって、対物レンズと、該対物レンズとターゲットの間に、前記ターゲットと相互作用する放射光のエバネッセントモードを高めるように機能的に配置されている光学素子とを具備し、前記計測システムは前記ターゲットによって散乱された放射光の少なくとも1次回折次数を測定するように配置され、前記光学素子は、前記ターゲットにより散乱された放射光のエバネッセントモードを高めるように配置された傾斜した誘電体-金属-誘電体スタックを備える、計測システム。

IPC (1件)：