検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人中部国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-548904
特許番号：特許第6271580号
出願日： 2013年11月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】粘性流体塗布装置によって基板に形成された複数の粘性流体塗布部のうちの少なくとも1つに対して検査を行う検査装置であって、前記粘性流体塗布装置から搬送される前記基板の待ち時間が予め定められた設定時間以上である場合に、前記基板に形成された前記複数の粘性流体塗布部すべてに対して検査を行う長待ち時全数検査部を含むことを特徴とする検査装置。

IPC (2件)：