圧力センサのためのセンサ素子

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：小野新次郎 , 中西基晴 , 鳥居健一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-525775
公開番号（公開出願番号）：特表2018-534574
出願日： 2016年10月14日
公開日（公表日）： 2018年11月22日
要約：

圧力センサのためのセンサ素子(100)において、センサ素子(100)は、センサ膜(10)であって、センサ膜(10)に所定数のピエゾ抵抗器(R1〜Rn)が配置されており、ピエゾ抵抗器(R1〜Rn)が、圧力変化が生じた場合に電圧変化が誘起されるように回路に配置されているセンサ膜(10)と、少なくとも2つの温度測定素子(T1〜Tn)であって、温度測定素子(T1〜Tn)によってピエゾ抵抗器(R1〜Rn)の位置においてセンサ膜(10)の温度が測定可能となるようにセンサ膜(10)に対して配置されており、測定された温度を用いた計算により、温度勾配に基づいてピエゾ抵抗器(R1〜Rn)の回路に生じた電圧が補正可能である、温度測定素子(T1〜Tn)とを備える。

請求項（抜粋）：

圧力センサのためのセンサ素子(100)において: センサ膜(10)であって、該センサ膜(10)に所定数の圧電抵抗器(R1〜Rn)が配置されており、該圧電抵抗器(R1〜Rn)が、圧力変化が生じた場合に電圧変化が誘起されるようにブリッジ回路(特に6頁17〜22行)に配置されているセンサ膜(10)と; 少なくとも2つの温度測定素子(T1〜Tn)であって、該温度測定素子(T1〜Tn)によって前記圧電抵抗器(R1〜Rn)の位置において前記センサ膜(10)の温度が測定可能となるようにセンサ膜(10)に対して配置されており、前記温度測定素子によって前記センサ膜における温度勾配が決定され、(5頁20〜23行)前記圧電抵抗器(R1〜Rn)のブリッジ回路に温度勾配に基づいて生じたブリッジ回路のブリッジ電圧の誤差が、決定された温度勾配を用いて計算により補正される(特に5頁12〜25行、7頁16〜19行) 圧力センサのためのセンサ素子(100)。

IPC (1件)：

G01L 9/00

FI (1件)：

G01L9/00 303Q

Fターム (6件)：

2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD20 , 2F055EE14 , 2F055FF02

引用特許：

出願人引用 (10件)

特開昭62-229041
レオメータ用圧力検出装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2003-540610 出願人：レオセンス,インコーポレイテッド
電子機器、検出データの補正方法及びセンサ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-204409 出願人：ミツミ電機株式会社

全件表示

審査官引用 (12件)

特開昭62-229041
特開昭62-229041
レオメータ用圧力検出装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2003-540610 出願人：レオセンス,インコーポレイテッド

全件表示

前のページに戻る