特許
J-GLOBAL ID：201803017161568584
電子デバイスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-103357
公開番号（公開出願番号）：特開2014-225531
特許番号：特許第6260108号
出願日： 2013年05月15日
公開日（公表日）： 2014年12月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板上にマルチノズルの液滴吐出ヘッドを用いて、複数の薄膜素子を形成する工程を有しており、
前記薄膜素子は、正の圧電効果、逆の圧電効果、電荷蓄積、半導体性、導電性から選択されたいずれかの機能の薄膜部を有しており、
前記マルチノズルの液滴吐出ヘッドを用いて、前記基板上に異なる材料組成の薄膜部を同時に形成し、2以上の異なる機能の薄膜部を得ることを特徴とする電子デバイスの製造方法。
IPC (4件)：
H01L 41/318 ( 201 3.01)
, H01L 41/331 ( 201 3.01)
, H01L 41/09 ( 200 6.01)
, H01L 41/113 ( 200 6.01)
H01L 41/318
, H01L 41/331
, H01L 41/09
, H01L 41/113
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (11件)
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