特許
J-GLOBAL ID：201803017389688601
割り送り式インライン基板処理ツール
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
園田・小林特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-535693
特許番号：特許第6285446号
出願日： 2013年09月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 割り送り式インライン基板処理ツールであって、
基板キャリアと、
線状配置になるように、互いに結合される複数のモジュールと
を備え、
前記基板キャリアは、
ベースと、
各基板支持体の基板支持表面が「v」字状に前記ベースの上面から上方の外方へ拡がっている1対の対向する基板支持体であって、前記基板支持体は前記ベースの上面に結合されて上面から離れて延び、前記基板支持体は、それぞれ基板を支持し、前記基板支持体上に配置された基板の上面と、前記基板支持体上に配置された別の基板の上面とが対向する、基板支持体と、
前記ベースの上面に形成された複数のスロットであって、前記基板支持体がそれぞれ、前記複数のスロットのそれぞれの中に部分的に配置される、複数のスロットと、を備え、
前記複数のモジュールの各モジュールが、第1の端部、第2の端部、及び下面を有する筐体を備え、筐体の下面によって、前記基板キャリアを支持するとともに、前記複数のモジュールのうちの最初のモジュールから中間モジュールを経て最終のモジュールまで、前記複数のモジュールを通って前記基板キャリアが直動するための経路を提供し、
前記複数のモジュールのうちの少なくとも1つのモジュールが、
前記筐体の側面に配置されて、前記筐体内へ放射熱を取込可能な窓と、
前記筐体の前記側面に結合されて、前記窓を通って前記筐体内へ放射熱を提供する加熱ランプと、
前記筐体の頂部近傍に配置されて、前記筐体内へプロセスガスを提供するガス入口と、
前記ガス入口とは反対側の前記筐体の底部に配置されて、前記筐体から前記プロセスガスを除去する排気口と
を備える、割り送り式インライン基板処理ツール。
IPC (6件)：
C23C 16/54 ( 200 6.01)
, H01L 21/205 ( 200 6.01)
, C23C 16/44 ( 200 6.01)
, H01L 21/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/677 ( 200 6.01)
, B65G 49/06 ( 200 6.01)
C23C 16/54
, H01L 21/205
, C23C 16/44 F
, C23C 16/44 J
, H01L 21/02 Z
, H01L 21/68 A
, B65G 49/06 Z
