特許
J-GLOBAL ID：201903010554891711
表面性状検査方法及び表面性状検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人ドライト国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-106976
公開番号（公開出願番号）：特開2019-211310
出願日： 2018年06月04日
公開日（公表日）： 2019年12月12日
要約：
【課題】非平坦な表面を有する対象物の表面性状を正確に検査し、且つ検査時間の短縮化と演算負荷の軽減を図る。【解決手段】非平坦な表面を有する対象物20の表面性状を検査する表面性状検査処理において、表面性状検査装置100は、対象物20の表面の所定箇所の座標を示す予め設定された座標情報を取得し(S1)、対象物20と撮像装置1とを相対的に移動させながら、撮像装置1により対象物20の表面を撮影して撮影画像を順次取り込み(S2)、順次取り込まれた撮影画像から、予め設定された座標情報が示す座標に位置する画素データを取得し(S3)、取得された画素データを連結することにより2次元の合成画像を算出し(S5及びS7)、当該2次元の合成画像から、対象物20の表面に存在する欠陥を検出する(S8)。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
非平坦な表面を有する対象物の表面性状を検査する表面性状検査方法であって、
前記対象物の表面の所定箇所の座標を示す予め設定された座標情報を取得する座標取得ステップと、
前記対象物と撮像装置とを相対的に移動させながら、前記撮像装置により前記対象物の表面を撮影して撮影画像を順次取り込む取り込みステップと、
前記取り込みステップで順次取り込まれた前記撮影画像から、前記予め設定された座標情報が示す座標に位置する画素データを取得する画素取得ステップと、
前記画素データを連結することにより2次元の合成画像を算出する画像算出ステップと、
前記2次元の合成画像から、前記対象物の表面に存在する欠陥を検出する検出ステップと、
を備える、表面性状検査方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
2G051AB02
, 2G051AB07
, 2G051BA20
, 2G051BB01
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CA06
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051DA06
, 2G051EA12
, 2G051EA14
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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