特許
J-GLOBAL ID：201003009100999963
表面疵検査装置、表面疵検査方法及びプログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
亀谷 美明
, 金本 哲男
, 萩原 康司
, 松本 一騎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-292555
公開番号（公開出願番号）：特開2010-117322
出願日： 2008年11月14日
公開日（公表日）： 2010年05月27日
要約：
【課題】搬送される帯状帯の表面疵を、より精度良く確実に、リアルタイムで検出することができる表面疵検査装置、表面疵検査方法及びプログラムを提供すること。【解決手段】搬送される帯状体1の表面に帯状光L1を照射した帯状体面上の帯状光照射領域LAを帯状光の入射と対向設置して撮像する2次元撮像装置20と、該2次元撮像装置を制御する制御装置30とを備え、該2次元撮像装置は、帯状光照射領域からの反射光の中で所定の2つ以上の異なる受光角度βで特定される反射光を、該制御装置から指示された露光時間で撮像し、該制御装置は、帯状体の搬送速度に同期させて該2次元撮像装置から部分読み出しした画素列を配列・合成してフレーム画像を生成し、該フレーム画像から前記夫々の受光角度に適した露光時間を決定することで、発生する疵に合わせて複数の受光角度で精度よくリアルタイムに疵検出する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
長手方向に搬送される帯状体の表面の幅方向全域に帯状光を照射し、該帯状光が照射される領域である帯状光照射領域からの該帯状光の反射光を撮像し、該帯状体の表面の疵を検査する表面疵検査装置であって、
前記帯状光の前記帯状体に対する垂直方向入射角度が、前記帯状光照射領域のすべての点において、予め設定した所定の値で等しくなるように帯状光を照射する照明装置と、
前記帯状光照射領域を挟んで前記照明装置と対向配置され、該帯状光照射領域の内の、前記帯状体の移動方向における位置が相異なる複数の部分領域からの反射光を、夫々相異なる複数の垂直方向反射角度において、該垂直方向反射角度毎の露光時間で撮像して、複数の列単位画像を出力する、列単位露光可能かつ部分読み出し可能な2次元撮像装置と、
前記帯状体の移動に同期して前記2次元撮像装置に撮像させて、該撮像により得られた前記複数の列単位画像のうち少なくとも二つ以上の列単位画像を予め設定しておいた列数だけ夫々配列することにより、該少なくとも二つ以上の列単位画像の夫々が対応する垂直方向反射角度夫々から前記帯状光照射領域を撮像したフレーム画像を構成する制御装置と、
前記フレーム画像を画像処理して、前記帯状体の表面の疵を検出する疵画像処理装置と、
を備えることを特徴とする表面疵検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
2G051AA37
, 2G051AB02
, 2G051AB07
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051DA06
, 2G051EA12
出願人引用 (1件)
-
「CCD/CMOSイメージ・センサの基礎と応用」, 20050101, 第3版, p.173-182
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