特許
J-GLOBAL ID：201903011494181872
III族窒化物結晶の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
松谷 道子
, 岡部 博史
, 稲葉 和久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-092446
公開番号（公開出願番号）：特開2019-196294
出願日： 2018年05月11日
公開日（公表日）： 2019年11月14日
要約：
【課題】結晶中の酸素不純物が少ないIII族窒化物結晶の製造方法を提供する。【解決手段】III族窒化物結晶の製造方法は、アルカリ金属、III族元素含有原料、及び、種基板11を収納する坩堝、坩堝を収納する反応容器、反応容器15を収納する圧力容器、窒素元素含有ガス及び/又はアルゴンガスを圧力容器に導入するガス供給管、圧力容器を封止する蓋、圧力容器を加熱するヒータ、ヒータと反応容器とを絶縁するための絶縁材、反応容器内の熱漏れを防止する断熱材を使用してIII族窒化物結晶を製造する方法であって、蓋を前記圧力容器から分離して、圧力容器内に反応容器を収納し、蓋で圧力容器を封止した後に、アルゴンガスを圧力容器内に充填する工程と、アルゴンガスを加熱して保持する工程と、加熱したアルゴンガスを圧力容器から排出する工程と、窒素元素含有ガスを圧力容器内に導入し、アルカリ金属とIII族元素含有原料とを反応させて種基板上にIII族窒化物結晶を成長させる工程と、を有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
アルカリ金属、III族元素含有原料、種基板を収納する坩堝、前記坩堝を収納する反応容器、前記反応容器を収納する圧力容器、窒素元素含有ガス及び/又はアルゴンガスを前記圧力容器に導入するガス供給管、前記圧力容器を封止する蓋、前記反応容器を加熱するヒータ、前記ヒータと前記反応容器とを絶縁するための絶縁材、前記反応容器内の熱漏れを防止する断熱材を使用してIII族窒化物結晶を製造する方法であって、
前記蓋を前記圧力容器から分離して、前記圧力容器内に前記反応容器を収納し、前記蓋で前記圧力容器を封止した後に、アルゴンガスを前記圧力容器内に充填する工程と、
前記アルゴンガスを加熱して保持する工程と、
前記加熱したアルゴンガスを前記圧力容器から排出する工程と、
前記窒素元素含有ガスを前記圧力容器内に導入し、前記アルカリ金属と前記III族元素含有原料とを反応させて前記種基板上にIII族窒化物結晶を成長させる工程と、
を有することを特徴とする、III族窒化物結晶の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
4G077AA02
, 4G077BE15
, 4G077CC04
, 4G077EA06
, 4G077EG18
, 4G077LA01
